macro sampleとは 意味・読み方・使い方

To provide a macro inspection apparatus for a sample such as a semiconductor wafer having a pattern formed therein, the macro inspection apparatus being capable of detecting abnormalities in dimension and size with high sensitivity.例文帳に追加

半導体ウェハなどのパターンが形成された試料のマクロ検査装置において、寸法・形状の異常を高感度で検出可能にする。 - 特許庁

The image acquisition device is constituted of a macro image acquiring part 20 for acquiring respective macro images of the plurality of samples S and a control part 60 including a macro image acquisition control part for controlling a macro image acquisition operation and an imaging condition setting part for setting the imaging condition of the micro image of the sample S while referring to the macro image.例文帳に追加

複数の試料Ｓのそれぞれについてマクロ画像を取得するためのマクロ画像取得部２０と、マクロ画像の取得動作を制御するマクロ画像取得制御部、及びマクロ画像を参照して試料Ｓのミクロ画像の撮像条件を設定する撮像条件設定部を有する制御部６０とによって画像取得装置を構成する。 - 特許庁

The control part 60 has a session management part that defines a session corresponding to the sample group of the plurality of samples S and manages a data group including the macro image data and the imaging condition of the macro image as session data correlated with the sample group for every session.例文帳に追加

また、制御部６０は、複数の試料Ｓの試料グループに対応してセッションを定義し、マクロ画像のデータ及び撮像条件を含むデータグループを、試料グループに関連付けられたセッションデータとしてセッション毎に管理するセッション管理部を有する。 - 特許庁

During the scan sample mode, the selectors SEL1-SEL3 are controlled so that they select the path from the user logic circuit 20 to the macro cell 23.例文帳に追加

スキャンサンプルモード時において、セレクタＳＥＬ１〜ＳＥＬ３は、ユーザ論理回路２０からマクロセル２３へのパスを選択するように制御される。 - 特許庁

To execute excellent scanning by correcting a macro Z-direction fluctuation portion caused by inclination or swell of a sample, a characteristic of a scanner or the like in a scanning probe microscope.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡において、試料の傾斜やうねり、スキャナーの特性等によるマクロなＺ方向変動分を補正して良好な走査を行う。 - 特許庁

To provide an image acquiring device, an image acquiring method and an image acquiring program by which the macro image of a sample that is an image acquiring object is suitably acquired.例文帳に追加

画像取得の対象となる試料のマクロ画像を好適に取得することが可能な画像取得装置、画像取得方法、及び画像取得プログラムを提供する。 - 特許庁

This scanning probe microscope equipped with a probe arranged oppositely to the sample, a Z-direction scanner driven in the Z-direction, an X, Y-direction scanner for scanning in the X, Y directions, and a measuring head for detecting displacement of the probe, is also equipped with a Z-direction correction means for correcting the macro Z-direction fluctuation portion from the reference height.例文帳に追加

試料と対向配置するプローブと、Ｚ方向に駆動するＺ方向スキャナーと、Ｘ，Ｙ方向に走査するＸ，Ｙ方向スキャナーと、プローブの変位を検出する測定ヘッドを具備する走査型プローブ顕微鏡において、基準高さからのマクロなＺ方向変動分を補正するＺ方向補正手段を備える。 - 特許庁