mechanical terminationとは 意味・読み方・使い方

POLISHING TABLE OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING DEVICE, METHOD FOR MONITORING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PROCESS USING THE SAME, METHOD FOR DETECTING TERMINATION USING THE SAME, AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

化学機械的研磨装備の研磨テーブル、これを用いて化学機械的研磨工程をモニターする方法、これを用いて終末点を検出する方法及びその製造方法 - 特許庁

To provide a polishing table which detects a in-situ termination without reducing chemical mechanical polishing efficiency, its manufacturing method, and a method for monitoring a chemical mechanical polishing process using the method, and a method for detecting a termination of polishing process.例文帳に追加

化学機械的研磨効率を低下することなく、インサイチュ終末点検出が可能な研磨テーブル、及びその製造方法、並びにそれを用いた化学機械的研磨工程のモニター方法および研磨工程の終末点検出方法を提供する。 - 特許庁

At the time, the pushing speed of a treatment element is changed and the pushing time of the treatment element is adjusted to the time Tb to feed air, so that the termination of the air massage with the airbag is synchronized with the termination of the mechanical massage with the treatment element.例文帳に追加

このとき、施療子の押込み速度が変更されて、施療子の押込み動作時間が給気時間のＴｂに合わせ込まれ、エアバックによる空気式マッサージの終了タイミングと、施療子による機械式マッサージの終了タイミングとが一致させられる。 - 特許庁

In the chemical mechanical polishing device which flattens the irregularities on the surface of the semiconductor substrate where a film to be polished is formed, a polishing termination time is determined, by using the chemical mechanical polishing device having a temperature detector 5 for detecting heat generated by pressing the semiconductor substrate against a polishing cloth 3 attached to a polishing surface plate 1 to perform pressurization and polishing.例文帳に追加

研磨する膜を形成した半導体基板の表面の凹凸を平坦化するＣＭＰ研磨装置において、半導体基板を研磨定盤１の研磨布３に押しあて加圧し研磨することにより発生した熱を検出するための温度検出器５を有するＣＭＰ研磨装置を用いて、研磨終点時間を決定することを特徴とする基板の研磨方法。 - 特許庁

Since a time delay is given before turning off an electronic switch apparatus 55 after turning off a mechanical switch apparatus 15 so that the power source is turned off after prescribed processing such as power-off preprocessing by the software of a CPU (data saving, communication termination, etc.), an operating program and data before power-off are stored without being lost.例文帳に追加

電源ＯＦＦ時に機械的スイッチ装置１５がＯＦＦしてから電子式スイッチ装置５５のＯＦＦまでに、ＣＰＵのソフトウェアによる電源断前処理（データ保存、通信終了ほか）等、所定の処理が終了後、電源をＯＦＦするよう時間遅延ができるので、電源ＯＦＦ前の動作中のプログラム、データが失われず保存される。 - 特許庁