GAS FIELD IONIZATION ION SOURCE, CHARGED PARTICLE MICROSCOPE, AND DEVICE例文帳に追加

ガス電界電離イオン源，荷電粒子顕微鏡、及び装置 - 特許庁

ATOM PROBE ELECTRIC FIELD ION MICROSCOPE例文帳に追加

アトムプローブ電界イオン顕微鏡 - 特許庁

This invention provides this atom probe device characterized by including: an electric field ion microscope device; an electric field ion microscope image introduction device introducing an electric field ion microscope image imaged by the electric field ion microscope device; and an electric field ion microscope image analyzer analyzing the introduced electric field ion microscope image.例文帳に追加

本発明によれば、電界イオン顕微鏡装置と、電界イオン顕微鏡装置により撮像された電界イオン顕微鏡像を取り込む電界イオン顕微鏡像取込装置と、取り込まれた電界イオン顕微鏡像を解析する電界イオン顕微鏡像解析装置と、を有することを特徴とする、アトムプローブ装置が提供される。 - 特許庁

The microscope system 200 can also be operated in a field-ion microscope (FIM) mode.例文帳に追加

また、顕微鏡システム２００は、電界イオン顕微鏡（ＦＩＭ）モードで作動させることができる。 - 特許庁

To provide an atom probe electric field ion microscope having such a function as an atomic force microscope.例文帳に追加

原子間力顕微鏡などの機能を備えたアトムプローブ電界イオン顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

This ion microscope includes the gas field ionization ion source, is constituted to install a refrigerator for cooling the gas field ionization ion source independently of an ion microscope body, and is provided with a refrigerant circulation circuit cooling mechanism for circulating a refrigerant between the gas field ionization ion source and the refrigerator.例文帳に追加

本発明は、ガス電界電離イオン源を備えたイオン顕微鏡において、ガス電界電離イオン源を冷却する冷凍機をイオン顕微鏡本体とは独立に設置し、ガス電界電離イオン源と冷凍機の間で冷媒を循環させる冷媒循環回路冷却機構を設けることに関する。 - 特許庁

GAS FIELD IONIZATION ION SOURCE, SCANNING CHARGED PARTICLE MICROSCOPE, OPTICAL AXIS ADJUSTMENT METHOD, AND SAMPLE OBSERVATION METHOD例文帳に追加

ガス電界電離イオン源，走査荷電粒子顕微鏡，光軸調整方法、及び試料観察方法 - 特許庁

FORMING METHOD OF NEEDLE-LIKE BODY USED IN ELECTRIC FIELD ION MICROSCOPE OR ATOMIC PROBE, AND NEED-LIKE BODY USED IN THE ELECTRIC FIELD ION MICROSCOPE OR ATOMIC PROBE例文帳に追加

電界イオン顕微鏡又はアトムプローブに用いられる針状体の形成方法及び電界イオン顕微鏡又はアトムプローブに用いられる針状体 - 特許庁

To provide a field-ion microscope for atom probes in which evaporated atomic elements from a sample by application of electric field are always drawn to a mass spectrometry system.例文帳に追加

試料から電界蒸発した原子が常に質量分析系に導かれるアトムプローブ電界イオン顕微鏡を提供すること。 - 特許庁

To provide an ion microscope capable of assessing quality of a conductive tip (needle-like electrode tip) used in a gas field ion source (electrical field ionization gas ion source).例文帳に追加

気体電界イオン源（電界電離ガスイオン源）の導電性先端（針状電極先端）の品質を評価できるようにしたイオン顕微鏡を提供する。 - 特許庁

In this manner, in the apparatus shown in Fig. 1, the cantilever in AFM is also used as the extraction electrode in the atom probe electric field ion microscope.例文帳に追加

このように、図１の装置では、ＡＦＭにおけるカンチレバーを、アトムプローブ電界イオン顕微鏡における引出電極として兼用している。 - 特許庁

To provide an ion microscope excellent in versatility and long-term reliability having an ion beam with a spot size of 10 nm or less at a surface of a sample using a gas field ion source.例文帳に追加

気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide an ion microscope having an ion beam with a spot size of 10 nm or less at a surface of a sample using a gas field ion source, and excellent in versatility and long term reliability.例文帳に追加

気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To provide an inexpensive device with a simple structure and an easy operation capable of enlarging an analyzing area of sample and enhancing a resolving power of ion at an electric field evaporation position to an atom level in an atom probe or a scanning type atom probe in which an electric field ion microscope and an ion detector are combined.例文帳に追加

電界イオン顕微鏡とイオン検出器を組み合わせたアトムプローブあるいは走査型アトムプローブにおいて、試料の分析領域を拡大すると共にイオンの電界蒸発位置の分解能を原子レベルまで向上させ得る、簡素な構造で安価で操作が容易な装置を構成する。 - 特許庁

To provide a gas field ionization ion source of high stability capable of obtaining a large current, and to provide an ion microscope of high resolution and deep focal depth.例文帳に追加

本発明の目的は、大電流が得られ、高安定なガス電界電離イオン源、及び高分解能でかつ大焦点深度のイオン顕微鏡を提供することに関する。 - 特許庁

In the method of correcting a photomask defect, after making an electrical continuity in an isolated pattern by a metal deposition film 7 by use of an electron beam or a helium ion beam generating from a gas field ion source, the defect 3 is corrected; and after the correction, the metal deposition film 7 is physically removed by an AFM (atomic force microscope) scratch working probe 9.例文帳に追加

電子ビームまたはガスフィールドイオン源から発生するヘリウムイオンビームを用いた金属デポジション膜7で孤立したパターンに導通を作ってから欠陥3を修正し、修正後金属デポジション膜7をAFMスクラッチ加工探針9で物理的に除去する。 - 特許庁

The method of fabricating the acicular sample for field ion microscopy includes a process for machining the desired part of the sample to be observed with a field ion microscope into an acicular shape by irradiating the sample with a focused charged-particle beam, a process for cutting the acicular sample away from a sample base, and a process for fixing the cut acicular sample to an electrode bar.例文帳に追加

電界イオン顕微鏡観察用針状試料の作製方法は、集束した荷電粒子ビームを照射することにより電界イオン顕微鏡で観察する所望の箇所を針状に加工する工程と、針状試料を試料基板から切り離し摘出する工程と、摘出した針状試料を電極棒に固定する工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁