To provide a sample holder for a microscope that can observe almost a total region of a sample with high resolution using a scanning electron microscope, and to provide an electron microscope equipped with such a sample holder for a microscope.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡を用いて試料の略全域を高分解能で観察することができる顕微鏡用試料ホルダ、及びそのような顕微鏡用試料ホルダを具備する電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which produces scanning image with high space resolution at a low-acceleration voltage area.例文帳に追加

本発明は低加速電圧領域で空間分解能の高い走査像を得ることの出来る走査形電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of obtaining a high-resolution and high-contrast concavoconvex image of a sample surface.例文帳に追加

本発明は、試料表面の高分解能かつ高コントラストな凹凸像を得ることを特徴とする走査型電子顕微鏡を提供するものである。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which obtains a high-resolution and high-contrast concavo-convex image of a sample surface.例文帳に追加

本発明は、試料表面の高分解能かつ高コントラストな凹凸像を得ることを特徴とする走査型電子顕微鏡を提供するものである。 - 特許庁

To provide an inexpensive and space-saving scanning electron microscope having a wide visual field, high resolution, high efficiency detection, and uniform detection efficiency.例文帳に追加

広視野、高分解能、高効率検出、均一検出効率の走査型電子顕微鏡を低コスト省スペースで提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope with high speed and resolution by upgrading a multi-beam type scanning electron microscope and improving its image forming performance.例文帳に追加

マルチビーム型の走査型電子顕微鏡を改良し、その結像性能を向上させることにより、高速で解像度の良い走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a TTL-mode scanning electron microscope capable of giving high resolution to a secondary electron image and effectively providing a reflected electron image with good contrast.例文帳に追加

二次電子像での高分解能化が可能であり、かつＴＴＬ方式の走査型電子顕微鏡にてコントラストの良い反射電子像を効果的に得ることが課題である。 - 特許庁

To enable to detect a transmitted electron with a large scattering angle and to observe an STEM image of a high contrast according to a testpiece and a purpose, in a high-resolution scanning electron microscope having an in-lens type objective lens.例文帳に追加

インレンズ形対物レンズを有する高分解能走査電子顕微鏡において、散乱角の大きな透過電子を検出できるようにし、試料や目的に応じた高コントラストのＳＴＥＭ像を観察する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope obtaining high ion detecting efficiency even if it has a short WD and is suitable for attaining high resolution.例文帳に追加

本発明はＷＤが短く、高分解能化に適した装置であっても、高いイオン検出効率を得ることができる走査電子顕微鏡を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

When characterization of the tip of a diamond probe 1 for machining is needed, a high resolution scanning electron microscope observation at a high accelerating voltage is performed for the tip of the diamond probe 1 in use for machining under a water vapor atmosphere.例文帳に追加

加工用ダイヤモンド探針１の先端のキャラクタリゼーションが必要なときは使用している加工用ダイヤモンド探針1の先端を水蒸気雰囲気下での高加速電圧の高分解能走査電子顕微鏡観察を行う。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of performing a chirality distribution in a polymer structure of protein and an analysis of a magnetic domain structure at high resolution.例文帳に追加

タンパク質等の高分子構造におけるカイラリティ分布や、磁区構造の解析を高分解能で行うことが可能な走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To establish a scanning image signal acquiring method and provide a scan type electron microscope, capable of producing an accurate image with a high resolution without requiring any expensive, complicated vibrationproof mechanism.例文帳に追加

高価で複雑な除振機構を必要とせず、高い分解能で正確な像を得ることができる走査像信号取得方法および走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of providing a high-resolution image even if a sample is tilted when a surface of the sample is observed by a retarding method for applying a negative voltage to the sample.例文帳に追加

試料に負電圧を印加するリターディング法により試料表面の観察を行う際に、試料を傾斜させても高分解能像を得ることを可能にする走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope device with an inclined column capable of obtaining an inclined image having high resolution in the same level as that of a top-down image obtained using a vertical column.例文帳に追加

直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁

To provide a negative resist composition which retains solubility in an alkali developer while improving dry etching resistance and resistance to an electron beam from a scanning electron microscope (SEM) and further has high resolution.例文帳に追加

ドライエッチング耐性および走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による電子線への耐性を向上させるとともにアルカリ現像液に対する溶解性を維持し、さらに高解像性を有するネガ型レジスト組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁

In a method that an image is formed by utilizing a secondary electron amplification by residual gas around a sample in a low vacuum scanning electron microscope(SEM) and an absorption current, the observation with high resolution and good image quality is enabled by an electric field in which an electrode acts with the comparatively reduced number of parts and a design taking scattering of a first electron beam into consideration.例文帳に追加

低真空SEMにおける試料周辺の残留ガス分子による二次電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する方式に於いて、比較的少ない部品数で電極が作用する電界や１次電子ビームの散乱を考慮した設計によって、低真空における高分解能・良好な像質での観察を可能とする。 - 特許庁