molecular pumpsとは 意味・読み方・使い方

DEVICE WITH A PLURALITY OF TURBO MOLECULAR PUMPS AND PUMP SYSTEM例文帳に追加

複数のターボ分子ポンプを備えた装置およびポンプシステム - 特許庁

To commonly use parts when a plurality of turbo molecular pumps are assembled with each other.例文帳に追加

複数台のターボ分子ポンプを組み合わせる際の部品の共通化。 - 特許庁

Multiple turbo molecular pump devices have turbo molecular pumps TB, and a plurality of power supply devices CR for controlling the drive of the turbo molecular pumps, respectively.例文帳に追加

複数のターボ分子ポンプ装置は、それぞれターボ分子ポンプＴＢと、各ターボ分子ポンプの駆動をそれぞれ制御する複数の電源装置ＣＲとを有する。 - 特許庁

To perform quick and accurate setting for a plurality of turbo molecular pumps while suppressing a setting error due to a timing difference and human factors in a driving condition between the turbo molecular pumps.例文帳に追加

ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスを抑制し、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確な設定を行う。 - 特許庁

To efficiently maximally use electric power from an electric power supply means when simultaneously driving a plurality of turbo-molecular pumps.例文帳に追加

複数のターボ分子ポンプを同時に駆動する際に電力供給手段からの電力を効率よく最大限に利用する。 - 特許庁

Not only heating in turbo molecular pumps 10, 1 but also the pipe 8 are cooled by the cooling fan 9.例文帳に追加

この冷却ファン９により、ターボ分子ポンプ１０、１１の発熱のみならず、パイプ８も冷却できる。 - 特許庁

To keep uniform a atmospheric pressure distribution in a chamber by controlling the exhaust of gas in a plurality of turbo-molecular pumps in the same conditions when gas is exhausted with the plurality of turbo-molecular pumps connected to one chamber as a vacuum device is larger.例文帳に追加

真空装置の大型化に伴い、一つのチャンバーに複数のターボ分子ポンプを接続してガス排気を行う際、複数のターボ分子ポンプの排気条件を同じ状態で排気する制御を行うことによりチャンバー内の気圧分布を均一に保つ。 - 特許庁