over-etchingとは 意味・読み方・使い方

Thus, the over-etching of the substrate can be prevented.例文帳に追加

これにより、基材のオーバーエッチングを防止することができる。 - 特許庁

ETCHING OF ALUMINUM OVER HIGH MELTING POINT METAL WITH CONTINUOUS PLASMAS例文帳に追加

連続プラズマによる高融点金属上のアルミニウムのエッチング - 特許庁

A bias power applied to a wafer is reduced in over etching.例文帳に追加

ウェハにバイアスをかけることが、オーバーエッチングにおいて低減される。 - 特許庁

To preserve a test piece subjected to etching stably over a long period of time.例文帳に追加

エッチング処理を施した試験片を長期間に亘り安定に保存する。 - 特許庁

Then, quantity of the over-etching is fixed and the etching is performed while leaving the upper layer metal film by calculating and fixing etching time by film thickness of an insulation film and its etching rate.例文帳に追加

そこで、絶縁膜の膜厚とそのエッチングレートよりエッチング時間を算出して固定にすることで、オーバーエッチングの量を一定にし、上層金属膜を残したままエッチングする。 - 特許庁

The second light shielding layer 22 is subjected to over-etching by isotropic etching using an etchant having an etching rate to the second light shielding layer 22 greater than the etching rate to the first light shielding layer 21 using the resist mask.例文帳に追加

該レジストマスクを利用し、第１遮光層２１へのエッチングレートよりも、第２遮光層２２へのエッチングレートの大きいエッチング液を用いて、第２遮光層２２を等方性エッチングにてオーバーエッチングする。 - 特許庁

Trouble such as insufficient etching or over etching can be prevented by it that a semiconductor etching monitor capable of ascertaining the etching state of a sacrificial layer in an in-line manner is formed on the same wafer with a sensor.例文帳に追加

犠牲層エッチングの進行状況をインラインで確認することができる半導体エッチングモニタをセンサ部分と同一のウエハ上に形成することによりエッチング不足、もしくは過剰エッチングを防止する。 - 特許庁

In a first etching process, the surface of a crystal material is wet-etched using a first etching composite containing a buffered hydrofluoric acid as a main component to perform an etching process over a wide area by a required etching quantity.例文帳に追加

第１エッチング工程において、バッファード弗酸を主成分として含有する第１エッチング組成物を用いて水晶材料の表面をウエットエッチングし、広い範囲で必要なエッチング量だけエッチング加工する。 - 特許庁