oxygen atom resistanceとは 意味・読み方・使い方

To obtain a high performance capacitor insulating film excellent in specific dielectric constant, heat resistance, and current leaking characteristics by adsorbing a silicon atom layer, an oxygen atom layer, and a metal atom layer or the like using an atom layer deposition method to form a metal silicate layer and nitriding and oxidizing the silicate layer.例文帳に追加

原子層蒸着法を用い、シリコン原子の層、酸素原子の層、金属原子の層等を吸着させて金属シリケートの層を形成し、それを窒化および酸化することで、比誘電率、耐熱性、電流リーク特性に優れた高性能なキャパシタ絶縁膜を得ることを可能とする。 - 特許庁

To reduce a residue of a chlorine atom and an oxygen atom in a metal nitride film to improve the oxidation resistance of the metal nitride film in the temperature range that does not deteriorate the property of other films adjacent to the metal nitride film.例文帳に追加

金属窒化膜に隣接する他の膜の特性を劣化させない温度範囲において、金属窒化膜中の塩素原子や酸素原子の残留量を低減し、金属窒化膜の耐酸化性を改善する。 - 特許庁

A low-resistance n-type AlN crystal is obtained by substituting a part of Al atoms in an AlN crystal with group IIIa elements (such as Sc, Y and La) or/and group IIIb elements (such as B, Ga and In), and substituting one adjoining nitrogen (N) atom with an oxygen (O) atom to form a shallow impurity level.例文帳に追加

本発明によれば、ＡｌＮ結晶のＡｌ原子の一部を、IIIａ族元素（Ｓｃ,Ｙ,Ｌａ等）又は／及びIIIｂ族元素（Ｂ,Ｇａ,Ｉｎ等）で置換し、隣接する窒素（Ｎ）１原子を酸素（Ｏ）原子で置換することにより、浅い不純物準位が形成され、低抵抗ｎ型ＡｌＮ結晶を得ることができる。 - 特許庁

By controlling the nitrogen content to the aforementioned range and controlling the total content of nitrogen and oxygen to be 50 atom% or higher, chemical resistance of the surface of the antireflection film 14 is improved.例文帳に追加

そして、窒素の含有率を上記範囲とし、かつ窒素と酸素の含有率の合計を５０ａｔｏｍ％以上とすることで反射防止膜１４の表面の薬品耐性を向上させている。 - 特許庁

As a result of this setup, a γ-type bismuth oxide phase containing excess oxygen atom can be segregated stably in the surface layer, the surface layer can be made higher in resistance, oxygen atoms are restrained from breaking away from the surface layer and grain boundaries by a high electric field, and the voltage nonlinear resistor can be improved in energy tolerated dose.例文帳に追加

これにより過剰の酸素原子を含むγ型酸化ビスマス相を表面相に安定して偏析させることができ、表面層の抵抗が大きくなり、また高電界による酸素原子の表面・粒界からの離脱を抑制し、エネルギー耐量を向上させることができる。 - 特許庁

That is to say, the film can prevent the contact of the surface of each air cell 40 with ozone present in proximity thereto and capture oxygen atom with high activity provided in the ozone so as to be extremely advantageous for improving the ozone resistance of each air cell 40.例文帳に追加

即ち、その膜によって各エアーセル４０の表面とその近傍に存在するオゾンとの接触を防止することができるとともに、その膜によってオゾンの有する活性の高い酸素原子を捕捉することができ、各エアーセル４０の耐オゾン性を向上する上で極めて有利である。 - 特許庁