pattern defectsとは 意味・読み方・使い方

To form a pattern having less scum and fewer water mark defects.例文帳に追加

スカム及びウォーターマーク欠陥が少ないパターンの形成を可能とする。 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING DEFECTS IN PERIODIC PATTERN例文帳に追加

周期性パターンの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - 特許庁

To diminish defects in a pattern of a photosensitive material due to dust etc.例文帳に追加

塵埃等による感光性材料のパターン欠陥を低減する。 - 特許庁

To provide a substrate with a light shielding film hardly causing defects such as pattern deflects.例文帳に追加

パターン欠け等の欠陥が発生しにくい遮光膜付き基板を得る。 - 特許庁

To form a proper quality resist pattern on a wafer without causing defects.例文帳に追加

欠陥を含まない品質の良いレジストパターンをウエーハに形成する。 - 特許庁

To securely detect pattern-formed scabby defects without having remarkable projection and recession shape.例文帳に追加

顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出する。 - 特許庁

The generated shape group is compared with an actual pattern to detect defects.例文帳に追加

作成された形状群と実パターンの比較により欠陥を検出する。 - 特許庁

INSPECTION SUBSTRATE AND INSPECTION METHOD OF DEFECTS OF TRANSFER PATTERN例文帳に追加

転写パターンの欠陥検査用基板及び転写パターンの欠陥検査方法 - 特許庁