pattern of damageとは 意味・読み方・使い方

To provide a photomask which can prevent the generation of static electricity to hardly cause the electrostatic damage of the photomask or the damage of a light shielding film pattern and does not impair the accuracy of the light shielding pattern, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

静電気の発生を防止して、フォトマスクの静電破壊や遮光膜パターンの破損が生じにくく、かつ遮光膜パターンの精度を損なわないフォトマスクおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of forming a fine pattern, which forms an oxide film on a resist pattern with a uniform film thickness without causing damage of a resist pattern.例文帳に追加

レジストパターンに損傷が生じないように、かつ、均一な膜厚をもってレジストパターン上に酸化膜を形成することが可能な微細パターンの形成方法を提供すること - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device precisely controlling the depth of a wiring trench pattern and suppressing formation of damage to the wiring trench pattern.例文帳に追加

配線溝パターンの深さを精密に制御でき、かつ当該配線溝パターンのダメージ形成を抑制できる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an imprint template and an imprinting method capable of preventing damage to a pattern in a step of parting a template from the pattern.例文帳に追加

テンプレートをパターンから離型する工程において、パターンが破壊することを防止するインプリント用テンプレート及びインプリント方法を提供する。 - 特許庁

To provide a multilayered ceramic substrate with an enough removal property of a restriction sheet but with no damage of a conductor pattern and no peeling.例文帳に追加

拘束シートの除去性が十分で導体パターンの損傷、剥離の無い多層セラミック基板を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a substrate capable of forming a conductive pattern having no defect such as damage on both the faces of the substrate without generating the defect such as the damage on both the faces of the substrate.例文帳に追加

基板の両面に傷等の不良を発生させることなくその基板の両面に傷等の不良のない導電パターンを形成できる基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a photomask having an island-shaped independent light-shielding pattern, in which deformation of the pattern due to electrostatic damage can be prevented.例文帳に追加

島状に独立した遮光パターンを有するフォトマスクにおいて、静電破壊によるパターンの変形を防ぐことができるフォトマスクを提供する。 - 特許庁

If a crack is made from a bottom part of a division groove 6, the crack is suppressed from reaching a conductor pattern 2 so as to suppress damage to the conductor pattern 2.例文帳に追加

分割溝６の底部から亀裂が入った際、亀裂が導体パターン２に至るのを抑制して導体パターン２の損傷を抑制する。 - 特許庁