plasma potentialとは 意味・読み方・使い方

PLASMA POTENTIAL AND ION SPEED MEASUREMENT METHOD, PLASMA POTENTIAL AND ION SPEED MEASUREMENT DEVICE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS AND RECORDING MEDIUM AND PROGRAM例文帳に追加

プラズマ電位及びイオン速度計測方法、プラズマ電位及びイオン速度計測装置及びプラズマ処理装置並びに記録媒体及びプログラム - 特許庁

To provide a plasma measuring device capable of measuring a plasma density, an electron temperature, and a plasma parameter of plasma potential with high accuracy even when the contamination caused by plasma is deposited thereon.例文帳に追加

プラズマにより生じる汚れが付着しても精度良くプラズマ密度、電子温度及びプラズマポテンシャルのプラズマパラメータを測定できるようにする。 - 特許庁

Plasma 10 pulled out to a deposition chamber from plasma 9 generated by a plasma source 2 is affected by negative substrate bias potential 81, and it becomes plasma 11 where molecular species distribution by negative potential is changed near a substrate.例文帳に追加

プラズマ源２で生成されたプラズマ９から製膜室中へ引き出されたプラズマ１０は、負の基板バイアス電位８１の影響を受け、基板近辺では負電位により分子種分布が変化したプラズマ１１となる。 - 特許庁

When substrate bias potential is switched to positive substrate bias potential 82, it becomes plasma 12 where molecular species distribution is changed by positive potential near the substrate.例文帳に追加

続いて、基板バイアス電位を正の基板バイアス電位８２に切り替えると、基板近辺では正電位により分子種分布が変化したプラズマ１２となる。 - 特許庁

To generate plasma jet by generating plasma with a lower voltage applied on gas (argon gas) with a higher ionization potential than helium gas, in an LF plasma jet generation method.例文帳に追加

ＬＦプラズマジェット生成方法において、ヘリウムガスより電離電圧の高いガス（アルゴンガス）をより低い電圧でプラズマを発生してプラズマジェットを生成すること。 - 特許庁

The flow restrictor is provided near the plasma chamber so that the voltage between a plasma potential and the grounding potential is applied to a part wherein the gas pressure is relatively high, and abnormal discharge between the plasma chamber and the grounding potential is thereby prevented.例文帳に追加

前記流量制限器を前記プラズマ室の近傍に設けて、プラズマ電位と接地電位との間の電圧が比較的ガス圧力の高いところに加わるようにすることによって、プラズマ室と接地電位の間の異常放電を防止する。 - 特許庁

To provide a plasma potential measuring method and device for measuring plasma potential along with an analysis of ion species applying a mass spectrometer without depending on a probe measuring instrument at a low cost considering that both mass spectrometry and plasma potential measurement can be performed.例文帳に追加

プラズマ電位を、プローブ計測器に頼ることなく、質量分析器を応用して、イオン種の分析と併せて計測でき、質量分析とプラズマ電位計測の双方を行える割りには安価に済むプラズマ電位計測方法及び装置を提供する。 - 特許庁

The plasma source is composed of a plasma container installed on the inside with a conductor and by applying a negative potential to this conductor, the ions generated in the plasma are sealed in the plasma container.例文帳に追加

内部に導体が設置されたプラズマ容器からなり、この導体にマイナス電位を与えることによりプラズマ中に生成されたイオンがプラズマ容器内に閉じ込められるようにする。 - 特許庁