polycide structureとは 意味・読み方・使い方

The gate electrode of a metal oxide field effect transistor for driving a heating element is formed of a polycide structure or a metal gate structure.例文帳に追加

本発明は、発熱素子を駆動する金属酸化物電界効果型トランジスタのゲート電極をポリサイド構造又はメタルゲート構造により形成する。 - 特許庁

To realize a polycide gate structure, while eliminating the phenomenon of increase in the film thickness of a gate oxide film or the deterioration of electrical characteristics.例文帳に追加

ポリサイドゲート構造を有しながら、ゲート酸化膜の膜厚増大現象や、電気特性の劣化のない半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

Further, an upper electrode of a polycide structure is formed to form the capacitive element together with the polysilicon resistor 6 and a capacitive insulating film 10.例文帳に追加

さらにポリサイド構造の上部電極が形成されており、多結晶シリコン抵抗体６、容量絶縁膜１０とともに容量素子を形成している。 - 特許庁

In the power management semiconductor device or the analog semiconductor device including a CMOS, both gate electrodes of an NMOS and a PMOS in a CMOS are formed of a polycide structure which is a laminated structure of a P-type polysilicon and a high melting point metal silicide, and an insulation film is formed on the polycide structured-gate electrode.例文帳に追加

ＣＭＯＳを含むパワーマネージメント半導体装置やアナログ半導体装置において、ＣＭＯＳのゲート電極をＮＭＯＳ、ＰＭＯＳともにP型多結晶シリコンと高融点金属シリサイドの積層構造であるポリサイド構造とし、前記ポリサイド構造のゲート電極上に絶縁膜を形成する。 - 特許庁

As a result, a gate electrode 21 having a polycide structure is formed of the polysilicon film 211 and the silicide film 212, and the side face of the polysilicon film 211 is coated with the silicon nitride film.例文帳に追加

この結果、ポリシリコン膜２１１及びシリサイド膜２１２がポリサイド構造をもつゲート電極２１を形成し、ポリシリコン膜２１１の側面等はシリコン窒化膜で被覆される。 - 特許庁

To restrain the interdiffusion of dopant in gate electrodes near the border of an n-channel MISFET and a p-channel MISFET which adopt polycide-dual gate structure.例文帳に追加

ポリサイド−デュアルゲート構造を採用するｎチャネル型ＭＩＳＦＥＴとｐチャネル型ＭＩＳＦＥＴの境界付近におけるゲート電極中の不純物の相互拡散を抑制する。 - 特許庁

To reduce the resistance value of an electrode constituted of, for example, in a laminated structure of polycrystalline silicon and a metal or with a metal silicide a polycide by removing a high-resistance layer such as the natural oxide film.例文帳に追加

多結晶シリコンと金属または金属シリサイドとの積層構造、たとえばポリサイドからなる電極において、自然酸化膜のような高抵抗層を除去し、電極の抵抗値の低減を図ること。 - 特許庁

A gate insulation film 13 is formed on the channel region 12 of a first conductivity (P type or N type) semiconductor layer 11, and a gate electrode 14 of polycide structure including a silicide layer 19 is formed on the gate insulation film 13.例文帳に追加

第１導電型（Ｐ型またはＮ型）の半導体層１１のチャネル領域１２上にゲート絶縁膜１３及びこのゲート絶縁膜１３上にシリサイド層１９を含むポリサイド構造のゲート電極１４が構成されている。 - 特許庁