prewettingとは 意味・読み方・使い方

PREWETTING OF SUBSTRATE BEFORE IMMERSION EXPOSURE例文帳に追加

浸漬露光前の基板のプレウェッティング - 特許庁

To provide prewetting of a substrate before immersion exposure.例文帳に追加

浸漬露光前の基板のプレウェッティングを提供すること。 - 特許庁

When uncoated part is caused by the first coating device 2, the prewetting liquid coating device 6 coats prewetting liquid, to surely coat coating liquid by the second coating device 4.例文帳に追加

第１塗布装置２による未塗布部が生じると、プリウェット液塗布装置６がプリウェット液を塗布するので、第２塗布装置４によって塗布液を確実に塗布できる。 - 特許庁

Thus, pool of the prewetting liquid is eliminated, thereby preventing occurrence of thick coating on the web W.例文帳に追加

このため、プリウェット液の液溜まりが解消され、支持体ウェブＷ上での厚塗りの発生を防止できる。 - 特許庁

A prewetting liquid coating device 6 is disposed between a first coating device 2 on the upstream side in the transporting direction of a support body web W and a second coating device 4 on the downstream side.例文帳に追加

支持体ウエブＷの搬送方向上流側の第１塗布装置２と、下流側の第２塗布装置４との間に、プリウェット液塗布装置６が配置される。 - 特許庁

To provide a coating film formation method and a coating film formation device which can reduce the use amount of coating solution stably, regardless of the kind of solvent which is used, assuming a prewetting method.例文帳に追加

プリウエット方式を前提とし、使用する溶剤の種類によらず安定して塗布液の使用量を少なくすることができる塗布膜形成方法および塗布膜形成装置を提供すること。 - 特許庁

The liquid supply system is configured to supply a prewetting liquid on top of the layer of radiation sensitive material to prewet the substrate, and is configured to supply an immersion liquid in a space between the prewet substrate and at least a portion of the projection system.例文帳に追加

この給液系は、放射感受性材料の層の上にプレウェッティング液を供給して基板を予め濡らすように構成され、この予め濡らされた基板と投影系の少なくとも一部との間の空間に浸液を供給するように構成される。 - 特許庁