solid plasmaとは 意味・読み方・使い方

This method is a tribo-plasma reaction test method in which solid matters sliding each other in an airtight chamber are arranged, lubricant is applied to boundaries of these solid matters, while the solid matters are slid so that tribo-plasma is generated, a chemical reaction product caused by tribo-plasma is collected.例文帳に追加

気密室の中に互いに摺動する固体を配置し、これらの固体の界面に潤滑剤を存在させると共に固体を摺動させてトライボプラズマを発生させ、このトライボプラズマにより生ずる化学反応生成物を捕集することを特徴とするトライボプラズマ反応試験方法。 - 特許庁

To provide a method controlling solid surface treatment, in which the treatment conditions can be maintained so that the best surface physical properties of the solid surface can be obtained from the diagnostic result of the state of plasma in performing solid surface treatment using low temperature plasma.例文帳に追加

低温プラズマにより固体表面処理を行う場合に、そのプラズマ状態を診断した結果に基づき、最良の表面物性が得られるように処理条件を調整しうる固体表面処理制御方法の提供。 - 特許庁

To prevent that a solid dielectric layer is damaged by a heat shock or the like in a plasma surface processing.例文帳に追加

プラズマ表面処理において、固体誘電体層がヒートショック等で破損するのを防止する。 - 特許庁

To provide a plasma light source capable of stably generating plasma beam for EUV radiation for a long time (μsec order), in which an effective radiation solid angle of the generated plasma beam is large.例文帳に追加

ＥＵＶ放射のためのプラズマ光を長時間（μｓｅｃオーダーで）安定して発生でき、発生したプラズマ光の有効な放射立体角が大きい、プラズマ光源の提供。 - 特許庁

Linear solid injection material or liquid injection material is accelerated by gas pressure and injected into a plasma 2.例文帳に追加

線状の固体注入物質または液体注入物質をガス圧で加速しプラズマ２に注入する。 - 特許庁

The problems described above are solved by the synergistic effect of the low-temperature plasma and a solid catalyst by adhering a thin layer of the solid catalyst to the surface of a discharge electrode or discharge barrier.例文帳に追加

また、プラズマで発生するラジカルの寿命（半減期）は短いので、低温プラズマ装置と触媒装置の単純な結合では触媒効果が少ない。 - 特許庁

To provide a plasma treatment device capable of surely bringing an electrode into contact with a solid dielectric plate during plasma treatment, and capable of preventing the solid dielectric plate from being damaged due to the vibration of the electrode during transportation.例文帳に追加

プラズマ処理の際は、電極を固体誘電体板に確実に接触させることができ、運搬時には、電極の振動による固体誘電体板の損傷を防止できるプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

To constitute a solid dielectric layer easily on the surface of an electrode, in a plasma surface treatment device.例文帳に追加

プラズマ表面処理装置において電極表面に固体誘電体層を容易に構成できるようにする。 - 特許庁