固体プラズマの英語

線状の固体注入物質または液体注入物質をガス圧で加速しプラズマ２に注入する。例文帳に追加

Linear solid injection material or liquid injection material is accelerated by gas pressure and injected into a plasma 2. - 特許庁

プラズマ表面処理において、固体誘電体層がヒートショック等で破損するのを防止する。例文帳に追加

To prevent that a solid dielectric layer is damaged by a heat shock or the like in a plasma surface processing. - 特許庁

プラズマ処理の際は、電極を固体誘電体板に確実に接触させることができ、運搬時には、電極の振動による固体誘電体板の損傷を防止できるプラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma treatment device capable of surely bringing an electrode into contact with a solid dielectric plate during plasma treatment, and capable of preventing the solid dielectric plate from being damaged due to the vibration of the electrode during transportation. - 特許庁

低温プラズマにより固体表面処理を行う場合に、そのプラズマ状態を診断した結果に基づき、最良の表面物性が得られるように処理条件を調整しうる固体表面処理制御方法の提供。例文帳に追加

To provide a method controlling solid surface treatment, in which the treatment conditions can be maintained so that the best surface physical properties of the solid surface can be obtained from the diagnostic result of the state of plasma in performing solid surface treatment using low temperature plasma. - 特許庁

実際の固体相互間の摩擦面に発生するトライボプラズマによる潤滑剤への影響を精度良く調査・分析し、一方では、プラズマによる潤滑油の劣化反応の加速試験を行うことによって、実際の固体の摩擦面に発生するトライボプラズマによる潤滑剤劣化との対応関係を把握し、潤滑剤の耐トライボマイクロプラズマ分解劣化特性を迅速にシミュレートする。例文帳に追加

To simulate quickly an anti-tribo micro-plasma dissolution deterioration property of lubricant by examining and analyzing accurately influence for lubricant by tribo-plasma generated on a friction plane between acutal solid matters, on the other hand, performing an acceleration test of deterioration reaction of the lubricant by plasma and grasping corresponding relation for deterioration of the lubricant by tribo-plasma generated on a friction surface of actual solid matters. - 特許庁

プラズマ処理を行う際に被処理物を均一に吸着固定でき、高電圧の印加を行っても固体誘電体部材とそれに対向する電極間とで異常放電を発生させることなく、被処理物に対して均一なプラズマ処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma treatment device capable of uniformly adsorbing and fixing an object to be treated when plasma treatment is carried out, and capable of applying uniform plasma treatment to the object to be treated without causing abnormal arcing between a solid dielectric member and electrodes facing each other eve if a high voltage is impressed. - 特許庁

プラズマドーピングで固体基体に不純物を導入する際に、プラズマ中のガスの特性をＩｎ‐ｓｉｔｕで測定し、Ｉｎ‐ｓｉｔｕで測定した結果を、所望の不純物導入量となるように、プラズマドーピングのパラメータにフィードバックすることとする。例文帳に追加

When dopant is introduced in a solid substrate with the plasma doping; the property of gas in plasma is measured by In-situ, the result of measurement by In-situ is fed back to the gas parameter of the plasma doping so as to become a desired amount of dopant introduction. - 特許庁

大気圧近傍の圧力下で少なくとも一方の対向面が固体誘電体で被覆された対向電極間に電界を印加することにより得られるグロー放電プラズマを発生させて被処理体を処理するプラズマエッチングとプラズマアッシングを繰り返して行うことを特徴とするプラズマエッチング処理方法。例文帳に追加

The plasma etching treatment method repeatedly performs plasma etching and plasma ashing for treating an object to be treated by generating glow discharge plasma obtained by applying an electric field between opposed electrodes in which at least one confronted surface is covered with a solid-state dielectric under pressure near atmospheric pressure. - 特許庁