sticklessとは 意味・読み方・使い方

The chamber 23 has a stickless fog generator unit 26 on its side for feeding a stickless fog F.例文帳に追加

チャンバ２３の側部に、エッチング室２２内にスティックレスフォグＦを供給するスティックレスフォグ発生ユニット２６を設ける。 - 特許庁

A stickless fog supply unit 24 for supplying a stickless fog G into the chamber 22 is provided at the side of the chamber 23, the fog F introduced into the fog inlet 33 via a fog supply tube 43 is supplied toward the treating surface of the wafer 1 from a nozzle 35 via a fog introducing tube 34.例文帳に追加

チャンバ２３の側部に、処理室２２内にスティックレスフォグＦを供給するスティックレスフォグ供給ユニット２４を設け、フォグ供給管４３を通してフォグ導入口部３３に導入されたスティックレスフォグＦを、フォグ導入管３４を介してノズル部３５から半導体ウエハ１の処理面に向けて供給する。 - 特許庁

To provide a simple structure free from abrasion, capable of ensuring the correct and effective stickless elevating motion of a platform even in heavy load, by improving a device for compensating a threaded spindle stopper of a spindle driving device 1 for preventing the locking of the spindle driving device in elevating the platform 2.例文帳に追加

プラットホーム２の昇降時に、スピンドル駆動装置のロックを避けるために、スピンドル駆動装置１のねじ山付きスピンドルストッパを補償する装置を改良して、重い荷重の負荷時でも、プラットホームの正確で効果的で、固着しない昇降運動が保証され、摩耗のない簡単な構造のものを提供する。 - 特許庁