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three axis motion baseとは 意味・読み方・使い方
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The tilt stage includes a tilt plate 201 and comprises at least three conversion mechanisms, between the tilt plate and the base plate, each for converting a motion parallel to the base plate into a Z-axis motion vertical to the base plate by combining a first piezo-actuator Z2-2 and a wedge stage 215.例文帳に追加
チルトステージは、チルトプレート２０１を有すると共に、第１のピエゾアクチュエータＺ２−２とウエッジステージ２１５との組み合わせによりベースプレートに平行な運動をベースプレートに垂直なＺ軸方向の運動に変換する変換機構をチルトプレートとベースプレートとの間に少なくとも３個備える。 - 特許庁
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