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"plasma- processing"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2308件
SELF-BIAS CONTROL DEVICE AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
セルフバイアス制御装置およびプラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMA PROCESSING DEVICE AND MICROWAVE INTRODUCTION DEVICE例文帳に追加
プラズマ処理装置およびマイクロ波導入装置 - 特許庁
DIELECTRIC WINDOW ANTI-MIST TYPE PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
誘電体窓曇り防止型プラズマ処理装置 - 特許庁
HIGH-FREQUENCY PLASMA PROCESSING DEVICE AND PROCESSING METHOD例文帳に追加
高周波プラズマ処理装置および処理方法 - 特許庁
MICROWAVE ANTENNA AND MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
マイクロ波アンテナ及びマイクロ波プラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND GAS SUPPLY METHOD THEREFOR例文帳に追加
プラズマ処理装置及びそのガス供給方法 - 特許庁
PLASMA PROCESSING AND APPARATUS AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS例文帳に追加
プラズマ処理装置および半導体製造装置 - 特許庁
PLASMA PROCESSING APPARATUS AND IMPEDANCE CONTROL METHOD例文帳に追加
プラズマ処理装置およびインピーダンス調整方法 - 特許庁
ELECTRODE FOR PLASMA PROCESSING AND PLASMA ARC CUTTING MACHINE例文帳に追加
プラズマ加工用の電極及びプラズマ加工機 - 特許庁
HIGH-FREQUENCY AMPLIFICATION DEVICE AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
高周波増幅装置およびプラズマ処理装置 - 特許庁
CHAMBER INNER WALL PROTECTING MEMBER AND PLASMA PROCESSING EQUIPMENT例文帳に追加
チャンバー内壁保護部材及びプラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMA ANTENNA, AND PLASMA PROCESSING DEVICE INCLUDING THE SAME例文帳に追加
プラズマアンテナおよびこれを含むプラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMA PROCESSING APPARATUS WITH REAL-TIME PARTICLE FILTER例文帳に追加
リアルタイムパーティクルフィルタを具備したプラズマ処理装置 - 特許庁
ETCHING METHOD, PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM例文帳に追加
エッチング方法、プラズマ処理装置及び記憶媒体 - 特許庁
MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF SUPPLYING MICROWAVES例文帳に追加
マイクロ波プラズマ処理装置及び給電方法 - 特許庁
PLASMA PROCESSING SYSTEM FOR DAMAGE-FREE DRY ETCHING OF WAFER例文帳に追加
ダメージのないウェハードライエッチングのプラズマ処理装置 - 特許庁
CONTROL APPARATUS, PLASMA PROCESSING APPARATUS AND CONTROL METHOD例文帳に追加
制御装置、プラズマ処理装置、及び制御方法 - 特許庁
SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL METHOD AND PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
基板温度制御方法及びプラズマ処理装置 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
半導体の製造方法及びプラズマ処理装置 - 特許庁
ELECTRODE FOR PLASMA GENERATION AND PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
プラズマ生成用電極およびプラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMA GENERATION ELECTRODE AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
プラズマ発生用の電極及びプラズマ処理装置 - 特許庁
In a plasma processing device, a plasma processing chamber 26 is provided inside a metal vessel 20, and an object 27 is placed in the plasma processing chamber 26.例文帳に追加
プラズマ処理装置は、金属製容器20の内側にプラズマ処理室26が設けられ、このプラズマ処理室26に被処理物27が設置されている。 - 特許庁
To provide a plasma processing system and a plasma processing method by which the surface of an article to be processed can be subjected to uniform plasma processing at a high processing rate.例文帳に追加
被処理物表面に高処理速度で均一にプラズマ処理を施すことが可能なプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a plasma processing device allowing plasma density at an optional part of a plasma processing surface to be locally changed; and a plasma processing method.例文帳に追加
プラズマ処理面の任意の箇所のプラズマ密度を局所的に変化させることが可能なプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a plasma processing method capable of performing preheating before plasma processing in a short time when performing the plasma processing accompanied by heating of a workpiece.例文帳に追加
被処理体の加熱をともなうプラズマ処理を行う際に、処理前のプリヒートを短時間で行うことができるプラズマ処理方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a plasma processing device and a plasma processing method capable of stably performing a glow discharge plasma processing by continuous waves under almost atmospheric pressure.例文帳に追加
大気圧近傍の圧力下で、連続波によって安定したグロー放電プラズマ処理を行うことのできるプラズマ処理方法および装置を提供する。 - 特許庁
In the plasma processing apparatus, a hermetically sealed plasma processing space is formed by using a base platform 21 and a cover member 22.例文帳に追加
基台21と蓋部材22により、密閉されたプラズマ処理空間を形成するプラズマ処理装置。 - 特許庁
The mixed gas is introduced into a plasma processing vessel.例文帳に追加
混合ガスをプラズマ処理容器内に導入する。 - 特許庁
COMPONENT USED FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
プラズマ処理装置の部品及びその製造方法 - 特許庁
To provide a plasma processing apparatus which is capable of providing uniform plasma processing and easy to ignite plasma.例文帳に追加
プラズマプロセス処理の均一性が高く、かつプラズマ着火性の良好なプラズマプロセス装置を提供する。 - 特許庁
INDUCTIVELY COUPLED ANTENNA UNIT AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
誘導結合型アンテナユニット及びプラズマ処理装置 - 特許庁
SHOWERHEAD AND SURFACE WAVE EXCITING PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加
シャワーヘッドおよび表面波励起プラズマ処理装置 - 特許庁
To provide a plasma processing apparatus for performing a uniform plasma processing on a substrate to be processed.例文帳に追加
被処理基板に対して均一なプラズマ処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供すること。 - 特許庁
PLASMA PROCESSING APPARATUS, PLASMA PROCESSING METHOD, AND STORAGE MEDIUM STORING PROGRAM FOR EXECUTING THE SAME例文帳に追加
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法並びにこれを実施するためのプログラムを記憶する記憶媒体 - 特許庁
PLASMA PROCESSING METHOD, PLASMA PROCESSING APPARATUS, PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD, AND PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM例文帳に追加
プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置、プラズマ化学蒸着方法及びプラズマ化学蒸着装置 - 特許庁
MEMBER IN PLASMA PROCESSING CONTAINER, AND ITS MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
プラズマ処理容器内部材及びその製造方法 - 特許庁
REACTION VESSEL AND PLASMA PROCESSING APPARATUS EQUIPPED THEREWITH例文帳に追加
反応容器及びそれを備えるプラズマ処理装置 - 特許庁
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