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Efficiency of Target Utilizationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 21件
As a result, the efficiency of utilization of the target 31 can be improved.例文帳に追加
その結果、ターゲット31の利用効率の向上を図ることができる。 - 特許庁
To provide a magnetron sputtering device capable of enhancing the target utilization efficiency.例文帳に追加
マグネトロンスパッタリング装置においてターゲット利用効率を向上させる。 - 特許庁
To provide a magnetron sputtering device capable of obtaining a target of high utilization efficiency.例文帳に追加
使用効率の高いターゲットを得ることができるマグネトロンスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁
To provide a sputtering system, with which efficiency of target utilization can be improved.例文帳に追加
ターゲットの利用効率の向上を図ることができるスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁
To provide a cylindrical magnetron sputtering system capable of improving the utilization efficiency of a target by reducing plasma damages in sputtering film deposition.例文帳に追加
スパッタリング成膜においてプラズマダメージを低減させて、ターゲット材の利用効率良くする。 - 特許庁
To provide a target holder for magnetron sputtering having simple structure, with which the utilization efficiency of a target can be enhanced by uniformizing erosion of the target.例文帳に追加
簡単な構造で、ターゲットのエロージョンを均一化して、ターゲットの利用効率を高めることのできるマグネトロンスパッタリング用のターゲットホルダーを提供する。 - 特許庁
To provide a sputtering device and a sputtering method, which can improve utilization efficiency of a target.例文帳に追加
ターゲットの利用効率を向上させることができるスパッタ装置およびスパッタ方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a planar magnetron sputtering system capable of improving efficiency of target utilization and preventing deterioration in film quality.例文帳に追加
ターゲットの利用効率を向上させると同時に膜質の劣化を防止できるプレーナーマグネトロンスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁
As the magnetic field is moved, a plasma condensing unit is also moved, the erosion state of the target 15 becomes uniform, and the target utilization efficiency is enhanced.例文帳に追加
磁界の移動によってプラズマ収束部も移動し、ターエゲット15のエロージョン状態が均一になるために、ターゲット利用効率が向上する。 - 特許庁
To provide a sputtering film deposition apparatus, which has improved utilization efficiency of a target material and forms a film excellent in uniformity.例文帳に追加
ターゲット材料の使用効率を良くできると共に形成される膜の均一性に優れたスパッタ成膜装置を提供する。 - 特許庁
To provide a sputtering target by which a large-sized sputtering target can easily and safely be attached and detached to and from a system and the utilization efficiency of the sputtering target can be increased and further the cracking of tiles during sputtering can be prevented.例文帳に追加
大型スパッタリングターゲットの装置への装脱着が、安全かつ容易に行うことが可能で、スパッタリングターゲットの利用効率を上げることができて、更に,スパッタリング中にタイルの割れを防止することができるスパッタリングターゲットを提供する。 - 特許庁
The second power generation target power PL is decided in consideration of a hydrogen utilization factor causing no hydrogen deficiency or power generation efficiency in the fuel cell power generation system.例文帳に追加
この第2の発電目標電力PLは、当該燃料電池発電システムにおいて、水素欠を起こさせない水素利用率や発電効率を考慮して決める。 - 特許庁
To provide a total reflection fluorescence X-ray analyzer which can significantly improve the utilization efficiency and the measuring limit of X rays by using a secondary target method ideal for the analysis of light elements.例文帳に追加
軽元素分析に好適な2次ターゲット法を用いて、X線の利用効率および測定限界を大幅に向上できる全反射蛍光X線分析装置を提供する。 - 特許庁
To provide an LPP type EUV light source and a generation method of the same which can significantly enhance utilization efficiency of target material and energy, and can suppress generation of debris and deterioration of a degree of vacuum of a chamber.例文帳に追加
ターゲット物質及びエネルギーの利用効率を大幅に高めることができ、かつデブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができるLPP方式のEUV光源とその発生方法を提供する。 - 特許庁
To provide a motor controller in which the processing load concerning to feedback control does not become heavier nor the utilization efficiency of a register or an operating unit lower depending on a target moving amount.例文帳に追加
目標駆動量によって、フィードバック制御に拘わる処理の負荷が重くなったり、レジスタや演算器の利用効率が低下することのないモータ制御装置を提供すること。 - 特許庁
To provide an energy irradiation device constituted so as to enhance the utilization efficiency of energy emitted from an emission part to raise the accumulation of energy on a target region while suppressing emission output.例文帳に追加
出射部から出射したエネルギーの利用効率を上げ、出射出力を抑えつつ目的部位に対するエネルギー集積を高めるようにしたエネルギー照射装置を提供するものである。 - 特許庁
The number of LEDs 21f, 23f and 25f of every color respectively operated in respective color light illuminators 21, 23 and 25 is set on the basis of the target luminous flux amount Ag, Ab or Ar of every color considering the light utilization efficiency Gg, Gb or Gr of the LED 21f, 23f or 25f.例文帳に追加
各色光照明装置21,23,25においてそれぞれ動作させる各色ごとのLED21f,23f,25fの個数を、これらLED21f,23f,25fの光利用効率Gg,Gb,Grを考慮した各色ごとの目標光束量Ag,Ab,Arに基づいて設定している。 - 特許庁
To provide a collimator lens unit that prevents a reduction in light utilization efficiency when the ratio of the light emitted to a target region at a large angle is increased.例文帳に追加
被照明領域に照射される光のうち大きな角度をもって照射される光の割合が大きくなってしまうことに起因して光利用効率が低下してしまうことのないコリメーターレンズユニットを提供する。 - 特許庁
To provide a sputtering method and a sputtering system by which sputtering particles are less liable to be diffused to the region other than a substrate, thus a film deposition rate can be improved, and further, the utilization efficiency of a target material can be improved.例文帳に追加
スパッタ粒子が基板以外の領域に発散し難くでき、これにより成膜速度を向上させることができ、さらにターゲット材の利用効率を向上させることができるスパッタ方法及びスパッタ装置を提供する。 - 特許庁
To provide an optical pickup apparatus in which target aberration correction can be performed accurately in respective liquid crystal layers and light utilization efficiency can be improved even if a multi-layer liquid crystal optical element in which a plurality of liquid crystal layers are laminated and arranged is mounted.例文帳に追加
複数層の液晶層を積層配置した多層液晶光学素子を搭載しても、それぞれの液晶層が目的の収差補正を正確に行うことができ、しかも光利用効率を向上させることができる光ピックアップ装置を提供すること。 - 特許庁
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