例文 (10件) |
synchrotron X-rayの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 10件
DEVICE AND METHOD FOR EXPOSURE TO X-RAY, X-RAY MASK, X- RAY MIRROR SYNCHROTRON RADIATION DEVICE, METHOD FOR SYNCHROTRON RADIATION AN SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
X線露光装置、X線露光方法、X線マスク、X線ミラー、シンクロトロン放射装置、シンクロトロン放射方法および半導体装置 - 特許庁
To perform X-ray lithography using a synchrotron radiant light beam while improving the operational efficiency of the entire system.例文帳に追加
シンクロトロン放射光を用いたX線リソグラフィーをシステム全体の稼働効率を向上させつつ行なうことを可能とする。 - 特許庁
X-ray aligners XST1 to XSTn are provided radially toward a synchrotron radiant light beam source SR used as a light source for an aligner.例文帳に追加
露光装置の光源として用いられるシンクロトロン放射光線源SRに対して、放射状にX線露光装置XST1〜XSTnが設けられている。 - 特許庁
High intensity synchrotron radiation monochromatized according to a desirable aspect ratio of a space is used, and a masking material 5 is selected so that monochromatized X-ray becomes K or L absorption edge.例文帳に追加
スペーサーの所望のアスペクト比に応じて単色化した高輝度シンクロトロン放射光を用い、マスク材料5は単色化されたX線がKあるいはL吸収端となるように選ぶ。 - 特許庁
To provide an Si monochromator having excellent cooling performance and X-ray diffraction characteristics which can be applied even to a large-sized synchrotron radiation facility, and a method of manufacturing the same.例文帳に追加
優れた冷却性能およびX線回折特性を有し、大型の放射光設備でも適用可能なSiモノクロメータおよびその製造方法を得る。 - 特許庁
As compared with an apparatus using a light source generated by the conventional synchrotron, the scale of an apparatus creating a light source can be decreased to a hundredth by using the high-order harmonic X-ray beams for a coherent light source.例文帳に追加
コヒーレントな光源に高次高調波エックス線ビームを使用することによって、光源を作り出す装置の規模を既存の放射光加速器で生成された光源を利用する装置と比較して、約100分の1に減らすことができる。 - 特許庁
To provide a beam position monitor capable of measuring highly accurately the center position of a high energy beam such as a large-output synchrotron radiation, excimer laser light and an X-ray, and operating stably for a long period, and manufacturable at lower cost than a conventional one, and a beam position measuring method.例文帳に追加
大出力の放射光、エキシマレーザ光及びX線等の高エネルギービームの中心位置を高精度で測定することができ、長期間安定して動作すると共に、従来品よりも低コストで製造することができるビーム位置モニタ及びビーム位置測定方法を提供する。 - 特許庁
The window foil 4 is fixed on a window frame 5 and a synchrotron radiant light source 1 is provided, so that it can be scanned in the direction vertical with respect to the radiation track surface of the light source 1 by an X-ray window scanning driving unit 11 connected with the window frame 5 via a transfer means 12.例文帳に追加
X線窓箔4は窓枠5で固定され、窓枠5に伝達手段12を介して接続したX線窓走査駆動装置11により、シンクロトロン放射光源1の放射軌道面に対して垂直方向に走査可能になっている。 - 特許庁
The resin composition has a feature that the cured products thereof have the scattering profile having at least one singular point structure within a range of 0.02-1 [nm^-1] scattering vector q size, when obtaining the scattering profile by small angle X-ray scattering using synchrotron radiation.例文帳に追加
そして、この樹脂組成物は、その硬化物について、シンクロトロン放射光を用いた小角X線散乱による散乱プロファイルを取得したとき、散乱プロファイルが、散乱ベクトルqの大きさが0.02〜1[nm^−1]の範囲内に少なくとも1つの特異点構造を有しているという特徴を有するものである。 - 特許庁
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