イオンアシストの英語

排気時間を最大限に短縮することが可能なイオンアシスト蒸着装置１を提供する。例文帳に追加

To provide an ion-assisted vapor deposition apparatus 1 capable of minimizing the exhaust time. - 特許庁

前記多層膜３，４，６，７は、真空蒸着、イオンプレーティング、イオンアシスト蒸着、スパッタリング法で成膜される。例文帳に追加

The multilayer films 3, 4, 6, 7 are deposited with vacuum deposition, ion plating, ion assisted deposition and sputtering method. - 特許庁

イオンアシストを併用した斜方蒸着によりＳｉＯ_2からなる無機配向膜を形成する際のイオン照射角度を最適化する。例文帳に追加

To optimize an ion irradiation angle when an inorganic alignment film is formed of SiO_2 by oblique vapor deposition using an ion assist in combination. - 特許庁

第３過程は、イオンプレーティング法又はイオンアシスト法により加速して緻密なＺｒＯ_2又はＨｆＯ_2を堆積する。例文帳に追加

In the third process, the dense ZrO_2 or HfO_2 is deposited by accelerating by an ion plating method or an ion assist method. - 特許庁

従って、イオン源を用いなくともイオンアシスト効果が得られ、基板１０表面に高密度な薄膜を成膜することができる。例文帳に追加

Accordingly, an ion assisted effect can be obtained without use of an ion source, and a thin film of high density can be deposited onto the surface of the substrate 10. - 特許庁

クラスターイオンアシストによる成膜方法において、成膜中の電子チャージによるフッ化物膜のフッ素欠損を防ぐ。例文帳に追加

To prevent the omission of fluorine in a fluoride film caused by an electronic charge during film deposition in a film deposition method using a cluster ion assist. - 特許庁

フッ化物を含む基板上またはフッ化物薄膜上に、真空蒸着法により酸化物膜を形成した後、酸化物膜の上にイオンプレーティング法またはイオンアシスト法により酸化物膜を形成する。例文帳に追加

After an oxide film is formed by a vacuum vapor deposition method on a substrate containing a fluoride or on a fluoride thin film, another oxide film is formed by an ion plating method or an ion assist method on the first oxide film. - 特許庁

フッ化物を含む基板やフッ化物薄膜上にイオンプレーティング法やイオンアシスト法で酸化物薄膜を形成するに際し、下地に光学的な吸収が発生することのない光学薄膜を作製する。例文帳に追加

To manufacture an optical thin film which does not cause optical absorption in the base when an oxide thin film is formed by an ion plating method or an ion assist method on a substrate containing a fluoride or on a fluoride thin film. - 特許庁