高分解走査電子顕微鏡の英語

二次電子像での高分解能化が可能であり、かつＴＴＬ方式の走査型電子顕微鏡にてコントラストの良い反射電子像を効果的に得ることが課題である。例文帳に追加

To provide a TTL-mode scanning electron microscope capable of giving high resolution to a secondary electron image and effectively providing a reflected electron image with good contrast. - 特許庁

インレンズ形対物レンズを有する高分解能走査電子顕微鏡において、散乱角の大きな透過電子を検出できるようにし、試料や目的に応じた高コントラストのＳＴＥＭ像を観察する。例文帳に追加

To enable to detect a transmitted electron with a large scattering angle and to observe an STEM image of a high contrast according to a testpiece and a purpose, in a high-resolution scanning electron microscope having an in-lens type objective lens. - 特許庁

照射電子ビームのエネルギーを単色化し、色収差を低減してスポット系を縮小することにより、像分解能を高めることのできる実用的なモノクロメータを備えた走査電子顕微鏡を提供することにある。例文帳に追加

To provide an electron microscope with a practical monochromator which can increase the image resolution by monochromatizing the energy of an irradiation electron beam and reducing the diameter of a light spot while decreasing chromatic aberration. - 特許庁

本発明はＷＤが短く、高分解能化に適した装置であっても、高いイオン検出効率を得ることができる走査電子顕微鏡を提供することを目的とするものである。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope obtaining high ion detecting efficiency even if it has a short WD and is suitable for attaining high resolution. - 特許庁

タンパク質等の高分子構造におけるカイラリティ分布や、磁区構造の解析を高分解能で行うことが可能な走査電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope capable of performing a chirality distribution in a polymer structure of protein and an analysis of a magnetic domain structure at high resolution. - 特許庁

半導体ウエハ等の欠陥検査による高スループットの直接写像観察と、高分解能での走査像観察機能を備えた電子顕微鏡を提供すること。例文帳に追加

To provide an electron microscope endowed with functions of direct-image observation of a high throughput by defect inspection of a semiconductor wafer or the like and scanned image observation at a high resolution. - 特許庁

加工用ダイヤモンド探針１の先端のキャラクタリゼーションが必要なときは使用している加工用ダイヤモンド探針1の先端を水蒸気雰囲気下での高加速電圧の高分解能走査電子顕微鏡観察を行う。例文帳に追加

When characterization of the tip of a diamond probe 1 for machining is needed, a high resolution scanning electron microscope observation at a high accelerating voltage is performed for the tip of the diamond probe 1 in use for machining under a water vapor atmosphere. - 特許庁

本発明は、試料の分解を抑えつつ、試料の検査を高精度で行うことができ、しかも試料の検査速度を低下させることがない走査電子顕微鏡を提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope capable of executing inspection of a sample with high accuracy while suppressing decomposition of the sample without decreasing the inspection speed of the sample. - 特許庁