tertiary sourceとは 意味・読み方・使い方

The concave reflection surface of the 1st mirror (M1) forms a tertiary light source from the secondary light source, and the concave reflection surface of the 3rd mirror (M3) efficiently guides light from the tertiary light source to the entrance pupil (SP) of projection optical systems (M4 to M8).例文帳に追加

第１ミラー（Ｍ１）の凹面反射面で２次光源から３次光源を形成し、第３ミラー（Ｍ３）の凹面反射面で３次光源からの光を投影光学系（Ｍ４〜Ｍ８）の入射瞳（ＳＰ）に効率良く導く。 - 特許庁

In this process, bis tertiary butyl amino silane and NH_3 are used as a source gas, and film-forming temperature is set at 600°C or lower.例文帳に追加

このとき、ビスターシャリーブチルアミノシラン及びＮＨ_3を原料ガスとして用い、成膜温度を６００℃以下とする。 - 特許庁

A modulator 21 generate a higher harmonic component (tertiary higher harmonic) of the source signal having been converted into the frequency range signal.例文帳に追加

変調器２１は、周波数領域信号に変換された元信号の高調波成分（３次高調波）を作成する。 - 特許庁

The mechanism section 22 applies a voltage having the frequency at which the mechanism section 22 resonates in a tertiary mode across the piezoelectric element 1 from a power source 4.例文帳に追加

圧電素子２１には、電源４により屈曲変位機構部２２が３次モードで共振する周波数の電圧を印加する。 - 特許庁

Moreover, the determination unit 303 determines data in a data group in which the secondary data is included and data in a data group in which the tertiary data is included which form a combination of identification source/destination data as a combination of data from which the data on the same customer is identified.例文帳に追加

また、決定部３０３は、第２のデータを含むグループのデータと、第３のデータを含むグループのデータを名寄せ元／先データとする組み合わせのデータどうしを、名寄せしあうデータの組み合わせに決定する。 - 特許庁

To obtain a new tertiary alcohol compound useful as a monomer for producing a photoresist material having excellent transparency and affinity for a substrate in a photolithography using an excimer laser at preferably ≤300 nm wavelength, especially preferably ArF excimer laser as a light source.例文帳に追加

好ましくは３００ｎｍ以下の波長、特に好ましくはＡｒＦエキシマレーザー光を光源としたフォトリソグラフィーにおいて、透明性と基板との親和性に優れたフォトレジスト材料製造用のモノマーとして有用な新規第三級アルコール化合物を提供する。 - 特許庁

The CPU 51 converts an audio signal subjected to A-D conversion into a frame, acquires a sound space feature quantity from the audio signal converted into the frame, estimates the sound source direction of target audio based on the sound space feature quantity, and estimates reliability in the sound source direction by acquiring the tertiary or higher high-order statistics of the sound space feature quantity.例文帳に追加

ＣＰＵ５１は、Ａ／Ｄ変換された音響信号をフレーム化し、フレーム化した音響信号から音空間特徴量を取得し、音空間特徴量に基づいて、対象音響の音源方向を推定し、音空間特徴量の３次以上の高次統計量を取得することにより音源方向の信頼度を推定する。 - 特許庁