えあはんどりんぐゆにっとの英語

室外循環経路のエアハンドリングユニットに実装されるフィルタの寿命の判定を容易に行うことができる寿命判定用ファンフィルタユニットを提供することができる。例文帳に追加

To provide a fan filter unit for determining life capable of easily determining life of a filter mounted on an air handling unit for a circulating route outside of a chamber. - 特許庁

ウエーハの上下にはリングブロー２０，２１が設けられ、ホットエアーをウエーハの半径方向の環状に噴き出し、エッチング液のガスをエッチングユニット内に吹き戻すと共にウエーハを加温している。例文帳に追加

Ring blows 20, 21 are provided above and under the wafer, hot air is blown out in an annular shape in a radial direction of the wafer and when gases of the etching liquid are blown back into the etching units, at the same time, the wafer is warmed. - 特許庁

冷凍機２、３から送水管７、８、９、１２、１３を経てエアハンドリングユニット１８、ファンコイルユニット１９に冷水を循環供給して冷房を行う熱源設備４を備える。例文帳に追加

The air conditioning system comprises a heat source facility 4 performing cooling by circulating chilled water from refrigerating machines 2, 3 to an air handling unit 18 and a fan coil unit 19 through water supply pipes 7, 8, 9, 12, 13. - 特許庁

制御ユニット４０は、実行された始動状態が冷間時始動状態であると判定し、始動直後のアイドリング状態であると判定した場合には、燃料供給量Ｇｆ、吸入空気量Ｇａを取得する。例文帳に追加

The control unit 40 judges the executed starting condition as the cool starting condition, and fetches a fuel supply volume Gf and an intake air volume Ga when an idling condition immediately after starting is judged. - 特許庁

リニアハンドリングユニットは、第１の本体１１を備え、第１の本体１１は、前方の対向するリニアベアリング１６と流体式リニアアクチュエータ１９とを装着する。例文帳に追加

This linear handling unit has a first body 11 and the first body 11 is provided with a front opposed linear bearing 16, and a fluid type linear actuator 19. - 特許庁

舵取り機構１０に駆動力を与える主操舵アクチュエータ５１Ｍおよび副操舵アクチュエータ５１Ｓと、ステアリングホイール３０に反力を与える反力アクチュエータ４０を制御するため、主操舵制御用電子制御ユニット８１、副操舵制御用電子制御ユニット８２、および反力制御用電子制御ユニット８３が設けられている。例文帳に追加

An electronic control unit 81 for controlling main steering, an electronic control unit 82 for controlling sub-steering and an electronic control unit 83 for controlling reaction force are provided in order to control a main steering actuator 51M and a sub-steering actuator 51S for imparting a driving force to a steering mechanism 10 and a reaction force actuator 40 for imparting the reaction force to a steering wheel 30. - 特許庁

この発明は、ハンドリングユニットを挟んでウエハ搬送室の床面に設けられファンフィルタユニットからのエアーを排出する多数の開口と、これらの開口の少なくとも一部を被いその開口率を調整する開口率調整機構とを備えるものである。例文帳に追加

The local cleaning transfer chamber comprises a number of openings that are provided on the floor surface of a wafer transfer chamber while a hand ring unit is sandwiched and discharge air from a fan filter unit, and an opening ratio adjustment mechanism that covers at least one portion of the openings and adjusts the opening ratio. - 特許庁

ハンドリング装置３８が処理槽２２，２４，２６，２８を順に移動し、ハンドリング装置３８に保持さているエアフィルタユニットが処理槽２２，２４，２６，２８で順に処理される。例文帳に追加

The handling devices 38 move through the treatment tanks 22, 24, 26, 28 in this order, and the air filter unit held by the handling devices 38 is treated in the treatment tanks 22, 24, 26, 28 in this order. - 特許庁