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エッチ率の英語
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英訳・英語 etch rates
「エッチ率」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 905件
窒化ケイ素のエッチング率を酸化ケイ素のエッチング率よりも低くする。例文帳に追加
To reduce the wet etching rate of silicon nitride lower than the silicon oxide. - 特許庁
エッチング効率の高いアルカリ過マンガン酸エッチング液を用いたエッチング処理装置及びエッチング処理方法を提供することにある。例文帳に追加
To provide an etching device and an etching method, wherein etching efficiency is high, and alkali permanganic acid etchant is used. - 特許庁
プラズマをエッチング領域に発生してプロセスガスをエッチングガスに変え、エッチング速度が高く、基板対レジストのエッチング選択率が高く、微小充填性を低減した異方性エッチング処理を実現した。例文帳に追加
Plasma is generated in the etching area to convert the process gas into an etchant gas to realize the anisotropic etching process where etching rate is high, etching selection ratio of substrate vs. resist is high and micro-filling property is reduced. - 特許庁
シリコン等をエッチングするための反応ガスの利用効率を高め、エッチングレートを高くする。例文帳に追加
To increase the etching rate by increasing the utilization efficiency of reaction gas for etching silicon, or the like. - 特許庁
少量のエッチング液で、ウェットエッチングを効率よく短時間で行う。例文帳に追加
To efficiently conduct wet etching in a short time by a small quantity of an etchant. - 特許庁
層間絶縁層は所定のエッチング液に対してダミー絶縁層よりも低いエッチング率を有する。例文帳に追加
The interlayer insulating layer has etching rate lower than the dummy insulating layer to specific etching liquid. - 特許庁
高速・高収率のプラズマエッチング方法、およびプラズマエッチング装置を提供する。例文帳に追加
To provide a plasma etching method and a plasma etching apparatus of high speed/high yield. - 特許庁
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「エッチ率」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 905件
下層膜や基板のエッチングを抑えて、高誘電率膜のエッチングを行う。例文帳に追加
To perform etching to a film of a high dielectric constant, inhibiting the etching of a lower layer film or substrate. - 特許庁
基板上の高誘電率材料を含む薄膜を選択的にエッチングすることができるエッチング方法およびエッチング装置を提供する。例文帳に追加
To provide a method and system for selectively etching a thin film formed on a substrate and containing a high-permittivity material. - 特許庁
効率よく低コストで均一なエッチング加工を行うことができるプラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法を提供することを目的とする。例文帳に追加
To efficiently execute a uniform etching process at a low cost. - 特許庁
エッチング処理における加工品質を良好に維持してエッチング効率を高めたエッチング液を製造する。例文帳に追加
To produce an etching soln. increased in etching efficiency in such a manner that working quality in etching treatment is satisfactorily maintained. - 特許庁
被処理層のうちの所望の層を効率よくエッチングしうるエッチング方法又はエッチング装置を提供する。例文帳に追加
To provide a method of etching or an apparatus for etching, capable of efficiently etching a requested layer out of the layers to be processed. - 特許庁
ウエハのエッチングのエッチング深さ及び形状を高精度に制御し、不良率を低くするウエハの高精度エッチング方を提供する。例文帳に追加
To provide a high-precision etching method for a wafer that can control an etching depth and shape with high accuracy, thereby lowering the percent defective, when etching a wafer. - 特許庁
エッチング廃液からセリウムを高効率回収する。例文帳に追加
To recover cerium from an etching waste solution at high efficiency. - 特許庁
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