グラウンドルールの英語

サブ・グラウンドルールのフィーチャを有したフォトマスクの自動欠陥検査方法及び装置を提供する。例文帳に追加

To provide the automatic defect checking method having sub-ground rule features for the photomask and its checking device. - 特許庁

本発明の方法は、フォトマスク作製用のデザインデータセットを作製し、デザインデータセット中のサブ・グラウンドルールフィーチャを検索し、デザインデータセットからサブ・グラウンドルールフィーチャを除去して検査データセットを作成し、デザインデータセットに従って作製されたフォトマスクを検査データセットを使用して検査するステップを有する。例文帳に追加

The defect testing method comprises the following steps for preparing a design data set for forming the photomask, searching the sub-ground rule features out of the design data set, removing the sub-ground rule features out of the design data set to form a check data set, and checking the photomask formed according to the design data set by using the check data set. - 特許庁