シャルマーの英語

レチクルフィジシャルマーク５１のウェハ面上での像と、ウェハフィジシャルマーク５３の相対位置関係をマーク検出法により測定する。例文帳に追加

The relative position relationship between an image on the wafer surface of a reticle fiducial mark 51 and a wafer fiducial mark 53 is measured by a mark detection method. - 特許庁

対象シーンの第２の部分は、第２の画像として取り込まれ、投射されたフィデューシャルマークを含み、第１の部分のうちの少なくともフィデューシャルマークを含む部分と重複している。例文帳に追加

The second part of the object scene is fetched as a second image, includes the projected fiducial mark and overlaps with at least the part including the fiducial mark of the first part. - 特許庁

まず、ウェハステージ９（Ｚ１の位置）上でレチクルフィジシャルマークの像１１ａ及び１１ｃの位置検出を行う。例文帳に追加

First, the positions of images 11a and 11c in reticle fiducial marks are detected on a wafer stage 9 (Z1 position). - 特許庁

また、フィデュシャルマーク３２の全てが、それぞれ、プリント配線基板３０の近い方の短辺３６Ａ、Ｂから等距離にある。例文帳に追加

All the marks 32 are located apart equidistantly from the shorter sides 36A and 36B of the board 30 closer to the marks. - 特許庁

対象シーン１０１の第１の部分は、第１の画像として取り込まれ、投射されたフィデューシャルマークを含む。例文帳に追加

The first part of the object scene 101 is fetched as a first image and includes the projected fiducial mark. - 特許庁

そしてその結果、レチクルアライメントマークＲＭとウエハフィデュシャルマークとを高精度に位置合わせすることができる。例文帳に追加

As a result, an alignment can be completed of the reticle alignment mark RM and the wafer fiducial mark. - 特許庁

フィデュシャルマーク基板３５に入射した電子は、導電性物質層３３からアースに逃げるので、基板のチャージアップを防止できる。例文帳に追加

Since electrons which are made incident on the fiducial mark substrate 35 escape to the ground from the conducting material layer 33, charge-up of the substrate can be prevented. - 特許庁

さらに、前記フィデューシャルマークを兼用するパッドと、その他のパッドとは、形状が相違し、かつ面積が実質的に等しく形成される。例文帳に追加

Further, those pads functioning as the fiducial marks and other pads are different in shape, and are formed practically the same in size. - 特許庁