FIDUCIAL MARKとは 意味・読み方・使い方

The relative position relationship between an image on the wafer surface of a reticle fiducial mark 51 and a wafer fiducial mark 53 is measured by a mark detection method.例文帳に追加

レチクルフィジシャルマーク５１のウェハ面上での像と、ウェハフィジシャルマーク５３の相対位置関係をマーク検出法により測定する。 - 特許庁

To provide a fiducial mark suitable for detecting a mark position accurately and an aligner having such a mark.例文帳に追加

精確なマーク位置検出を行うのに適するフィデューシャルマーク、および、そのようなマークを有する露光装置を提供する。 - 特許庁

The second part of the object scene is fetched as a second image, includes the projected fiducial mark and overlaps with at least the part including the fiducial mark of the first part.例文帳に追加

対象シーンの第２の部分は、第２の画像として取り込まれ、投射されたフィデューシャルマークを含み、第１の部分のうちの少なくともフィデューシャルマークを含む部分と重複している。 - 特許庁

As a result, an alignment can be completed of the reticle alignment mark RM and the wafer fiducial mark.例文帳に追加

そしてその結果、レチクルアライメントマークＲＭとウエハフィデュシャルマークとを高精度に位置合わせすることができる。 - 特許庁

The photosensors 32M, 32C, 32Y or 32K read the fiducial mark on the web moving relative to the printing station.例文帳に追加

フォトセンサフォトセンサ３２Ｍ，３２Ｃ，３２Ｙ又は３２Ｋは、その印刷ステーションに対し移動中のウェブから基準マークを読み取る。 - 特許庁

The first part of the object scene 101 is fetched as a first image and includes the projected fiducial mark.例文帳に追加

対象シーン１０１の第１の部分は、第１の画像として取り込まれ、投射されたフィデューシャルマークを含む。 - 特許庁

Since electrons which are made incident on the fiducial mark substrate 35 escape to the ground from the conducting material layer 33, charge-up of the substrate can be prevented.例文帳に追加

フィデュシャルマーク基板３５に入射した電子は、導電性物質層３３からアースに逃げるので、基板のチャージアップを防止できる。 - 特許庁

Next, driving positions of the reticle and the wafer stage so as to make each mark to be the center of field of view, the biases of reticle mark and wafer fiducial mark are measured in this condition as a full measurement.例文帳に追加

次に、各マークが視野中心となるようにレチクル及びウエハステージの位置を駆動し、この状態で本計測としてのレチクルマーク及びウエハフィデュシャルマークのずれ量を計測する。 - 特許庁