金属薄膜の熱拡散率をサーモリフレクタンス法により正確に測定する。例文帳に追加

To accurately measure the thermal diffusivity of a metallic thin film by the thermo-reflectance method. - 特許庁

過渡的サーモリフレクタンス信号は、プリズム４の移動により記録される。例文帳に追加

A transient thermo-reflector signal is recorded by the movement of the prism 4. - 特許庁

光路長の制御による観測時間領域の制限を無くし、パルスレーザーを用いたサーモリフレクタンス法の測定対象拡大を図る。例文帳に追加

To extend the range of measuring object for a thermoreflectance method using pulse laser by eliminating limitation of observation time zone, by controlling the optical path length. - 特許庁

振幅を測定し表面のレーザに対する吸収量とサーモリフレクタンス信号の温度係数を求める。例文帳に追加

The amplitude is measured, and a laser absorption quantity of the surface and a temperature coefficient of thermo-reflectance signal are determined. - 特許庁

この第１金属薄膜表面の温度変化を測定することにより、既に本発明者等が特許出願等で提案しているピコ秒サーモリフレクタンス法によって正確に測定することができる。例文帳に追加

When a change in the temperature on the surface of the thin film 2 is measured, the thermal diffusivity can be measured precisely by a picosecond thermoreflectance method. - 特許庁

光路長の制御による観測時間領域の制限を無くし、パルスレーザーを用いたサーモリフレクタンス法の測定対象拡大を図ることを目的としている。例文帳に追加

To expand a measurement target in a thermoreflectance method using a pulse laser by eliminating the limitation of an observation time region due to the control of a light path length. - 特許庁

本発明は、サーモリフレクタンス法による温度測定が製造現場で可能な表面温度の非接触測定方法及び装置を提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide a method and a device for non-contact measurement of a surface temperature which enable temperature measurement by a thermoreflectance method at a manufacturing site. - 特許庁

モリブデンを成膜した参照試料表面を加熱用レーザビームにより加熱し、この加熱位置に加熱用レーザ径より小さな測温用レーザを照射し、検出したサーモリフレクタンス信号光に基づいて参照試料表面の温度変化の振幅を測定する。例文帳に追加

A reference sample surface having a molybdenum film formed thereon is heated with a heating laser beam, a temperature measuring laser smaller in diameter than the heating laser is emitted to the heated position, and the amplitude of temperature change of the reference sample surface is measured based on a detected thermo-reflectance signal light. - 特許庁

処理部５は、サーモリフレクタンス法により反射光８５の強度から金属薄膜７１の表面温度を算出し、別途、入力部６から金属薄膜７１の膜厚の入力を受け、金属薄膜の熱拡散率を算出する。例文帳に追加

The processing part 5 calculates a surface temperature of the thin metal film 71 based on the intensity of the reflected light 85 by a thermo-reflectance method, and receives separately an input about a film thickness of the thin metal film 71 from an input part 6 to calculate the thermal diffusivity of the thin metal film. - 特許庁

試料の極微少領域の表面温度をサーモリフレクタンス法により高精度・高空間分解能・高速度で測定することを可能とするとともに、表面反射率の温度依存性が知られていない試料についても、その表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて温度を即時に決定することを可能にする装置を提供する。例文帳に追加

To provide a device that can measure the surface temperature of a minute region of a sample at high accuracy, high space resolution, and high speed by a thermo-reflectance method, can analyze the temperature dependence of the surface reflection even of a sample whose temperature dependence of the surface reflection is not known, and can instantly determine the temperature using the results. - 特許庁