ロード・ロックの英語

ロード・ロックはさらに、少なくともロード・ロックからリソグラフィ投影装置に向けて物体を移送する前に物体の温度を所望の温度に制御する温度調節付き構造を有する。例文帳に追加

Furthermore, the load lock has a structure for temperature regulation to control the temperature of the object at least before it is transferred from the load lock toward the lithography system. - 特許庁

内部空間１１は、第一圧力（Ｐ_vac）に維持され、ロード・ロック（ＬＬ）を介して第二圧力（Ｐ_env）を有する環境から分離されている。例文帳に追加

The internal space 11 is kept at a first pressure (P_vac) and is separated from an environment having a second pressure (P_env) via a load lock (LL). - 特許庁

基板Ｗなどの物体をリソグラフィ装置の中へ移送し、リソグラフィ装置から移送するように配置されたリソグラフィ装置用ロード・ロック。例文帳に追加

An object, e.g. a substrate W, is transferred into/from a lithography system. - 特許庁

基板全体均一な温度分布を実現する加熱並びに冷却が可能なロード・ロック・チャンバを提供する。例文帳に追加

To provide a load lock chamber capable of heating and cooling a substrate for obtaining a uniform temperature distribution of a substrate as a whole. - 特許庁

本方法は、ロード・ロック（ＬＬ）を介して機械部品（３２、ＷＴ）を内部空間１１の外部に搬出すること、整備された機械部品および別体交換用機械部品のうち一方をロード・ロック（ＬＬ）を介して内部空間１１内に搬入することを含む。例文帳に追加

The method comprises transporting a machine part (32, WT) via the load lock (LL) out of the internal space 11, and transporting one of the maintained machine part and a separate replacement machine part via the load lock (LL) into the internal space 11. - 特許庁

ロード・ロック・チャンバに、チャンバ内への基板の移送又はチャンバからの基板の移送を可能にする開口３６，４４を有するチャンバ本体３０を備える。例文帳に追加

The load lock chamber is provided with a main body 30 having openings 36, 44 for transferring the substrate to or from a chamber. - 特許庁

このロード・ロック・チャンバは、いくつかの構成において構成可能であり、それには、２つの異なる圧力の間の遷移を提供するための基本構成；基板を加熱し、２つの異なる圧力の間の遷移を提供するための加熱構成；及び、基板を冷却し、２つの異なる圧力の間の遷移を提供するための冷却構成が含まれる。例文帳に追加

The load lock chamber can constituted in several constitutions. - 特許庁

本プラズマＣＶＤ装置は、プラズマＣＶＤ膜を成膜するプロセスチャンバと、開閉自在なスリットバルブ１４を介してプロセスチャンバと連通するロード・ロック室とを備え、エア・アクチュエータによりスリットバルブを開閉駆動するようにしたプラズマＣＶＤ装置である。例文帳に追加

This device is provided with a process chamber forming a plasma CVD film and a load lock chamber communicated with the process chamber via a slit valve 14 freely capable of opening and shuttering, and, by an air actuator, the slit valve is driven so as to be opened and shut. - 特許庁