一電子系の英語

また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めるとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出することを特徴とする。例文帳に追加

An electric field and a magnetic field are sealed within the each electronic optical system by a shielding electrode capable of vacuum-evacuating an electron beam path, and a negative voltage is set to a sample to accelerate a secondary electron and a reflected electron to a direction of an electron source side in an electron beam optical axis, so as to detect the secondary electron and the the reflected electron within the same electronic optical system. - 特許庁

また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出することを特徴とする。例文帳に追加

An electric field and a magnetic field are sealed within the respective electronic optical systems by a shielding electrode for vacuum-evacuating an electron beam path, and a negative voltage is set to a sample to accelerate a secondary electron and a reflected electron to a direction of an electron source side in an electron beam optical axis, so as to detect the secondary electron and the reflected electron within the same electronic optical system. - 特許庁

また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出することを特徴とする。例文帳に追加

An electric field and a magnetic field are sealed within the each electronic optical system by a shielding electrode capable of vacuum-evacuating highly an electron beam path, and a negative voltage is set to a sample to accelerate a secondary electron and a reflected electron to a direction of an electron source side in an electron beam optical axis, so as to detect the secondary electron and the the reflected electron within the same electronic optical system. - 特許庁

また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出する。例文帳に追加

An electric field and a magnetic field are sealed within the each electronic optical system by a shielding electrode capable of vacuum-evacuating highly an electron beam passage, a negative voltage is set to a sample to accelerate a secondary electron and a reflected electron to a direction of an electron source side in an electron beam optical axis, and the secondary electron and the reflected electron are thereby detected within the same electronic optical system. - 特許庁

本発明は、電子銃２及び前記電子銃から放出された一次電子を検査対象に照射する静電レンズより成る対物レンズ７を有する電子光学系と、前記対物レンズの外側に配置された差動排気系１２と、を備えた電子線装置１に関する。例文帳に追加

The electron beam equipment 1 is provided with an electronic optical system with an electron gun 2 and an objective lens 7 composed of an electrostatic lens which irradiates primary electrons emitted from the electron gun to a test sample and with a differential exhaust system 12 arranged outside of the objective lens. - 特許庁

電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置。例文帳に追加

The electron beam device irradiates primary electron beams generated by an electron gun on a test piece and forms the secondary electrons emitted from the test piece on a detector by a map projection optical system. - 特許庁

試料に向けて電子ビームを照射する補助電子照射器１５が一次電子ビームＥＢが照射される電子光学系の光軸Ｏ１に対して角度θ傾けられて設けられている。例文帳に追加

An auxiliary electronic irradiation device 15, that radiates an electron beam directed toward the sample is provided at an inclination of θ degrees with respect to an optical axis O1 of an electron optics system, to which a primary electron beam EB is radiated. - 特許庁

この光学要素組立体はユニットとして製造され、電子線装置の電子光学系を旦持する鏡筒に一体に組み込まれる。例文帳に追加

This optical element assembly is manufactured as a unit and built integrally in a lens barrel which carries the optical system of an electron- beam device. - 特許庁