変形パターンの英語

さらに、変形可能範囲に捕われることなく、基本のピッチパターンの概形を保ったまま周波数変形して変形ピッチパターンを設定する。例文帳に追加

Moreover, the deformed pitch pattern is set by conducting frequency deformation while holding the approximate shape of the basic pitch pattern without considering a deformation possible range. - 特許庁

液状パターン中の導電性微粒子Ｉａの流動性をなくし、パターンの潰れや変形は防止して、精度の高いパターンを形成する。例文帳に追加

Flowability of conductive particulates Ia in the liquid pattern is eliminated to prevent the pattern from being destroyed and deformed, thereby forming the pattern with high precision. - 特許庁

ArF用フォトレジストパターンの変形を抑え、狭いパターンの形成が可能な半導体素子の微細パターン形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of forming a fine pattern in a semiconductor device, which enables the formation of a narrow pattern by preventing the deformation of a photoresist pattern for ArF. - 特許庁

フォトレジストパターンの側壁にスペーサーを形成する際のパターンの変形やＬＷＲの増大を防ぐことができるパターン形成方法。例文帳に追加

To provide a pattern forming method for preventing deformation of a photoresist pattern and increase in LWR when spacers are formed on side walls of the pattern. - 特許庁

レジストパターンを縮小化させる際のパターンの変形や倒壊を防止することが可能な微細パターンの作製方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a fine pattern which prevents the pattern from being deformed or collapsed when a resist pattern is shrunk. - 特許庁

６０μｍより広い回路パターン１６の場所に、ダミーパターン、導電ラインの変形パターン、導電ラインの拡大パターンを単独あるいは組み合わせた構造とした６０μｍより狭い回路パターン１５を設ける。例文帳に追加

A circuit pattern 15 having the structure, wherein a dammy pattern, the deformed pattern of a conductive line and the magnified pattern of the conductive line are formed individually or in assembled form, is provided on a circuit pattern 16 which is wider than 60 μm. - 特許庁

多少の変形が生じたドットパターンに対しても、ドットパターンに変形が生じていない場合と同様の認識処理を行えるようにする。例文帳に追加

To perform the same recognition processing as in a case having no deformation of dot pattern even to a slightly deformed dot pattern. - 特許庁

パターン変形量の１つとしてシフト量Ｓ_２が求まる。例文帳に追加

A shift amount S_2 is obtained as one of pattern deformation quantities. - 特許庁