等透明度線の英語

放射線劣化や粉塵飛散等を含む経年変化によりグローブボックスパネルの透明度が低下した場合でも、グローブボックスパネルの交換を行うことなく、パネル全面を短期間の操作で効率よく研磨して透明度を修復することができるグローブボックスパネルの研磨装置を提供する。例文帳に追加

To restore transparency by efficiently polishing the whole surface of a panel for a short period of time without replacing a globe box panel even if the transparency of the globe box panel is lowered due to aging including degradation in radiation, dust scattering and the like. - 特許庁

放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等に優れ、露光後の加熱時の温度依存性が小さい感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation sensitive resin composition having high transparency to radiation, having excellent sensitivity, resolution, dry etching resistance, pattern shape, etc., and having small temperature dependence in heating after exposure. - 特許庁

特に、コントラストが優れ、微細なレジストパターンを高精度に形成でき、しかも放射線に対する透明性、感度、解像度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition excellent in contrast, capable of forming a fine resist pattern with a high degree of accuracy and excellent also in transparency to a radiation, sensitivity and resolution. - 特許庁

ドライエッチング耐性に優れ、しかも放射線に対する透明性、感度、解像度、現像性等のレジストとしての基本物性にも優れたレジスト材料の樹脂成分等として有用な新規ポリシロキサンを提供する。例文帳に追加

To obtain a new polysiloxane, useful as a resin component, or the like, of a resist material, excellent in dryetching resistance, and also excellent in basic physical properties as resist such as a transparency to a radiation, sensibility, resolution and developing property. - 特許庁

放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等に優れる化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition having high transparency to a radiation and useful as a chemically amplified resist excellent in sensitivity, resolution, dry etching resistance and pattern shape. - 特許庁

放射線に対する透明性、感度、解像度、ドライエッチング耐性等のレジストとしての基本物性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition excellent in basic physical properties as a resist, such as transparency and sensitivity to radiations, resolution and dry etching resistance. - 特許庁

放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターンプロファイル等に優れ、化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition useful as a chemically amplified resist having high transmittance of radiation and excelling in sensitivity, resolution, dry etching resistance and pattern profile. - 特許庁

放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a radiation sensitive resin composition having high transparency to radiation, having excellent basic solid state properties as a resist such as sensitivity, resolution and pattern shape, and being useful as a chemical amplification type resist. - 特許庁