高速荷電粒子の英語

反射型の荷電粒子ビーム露光装置に適した高精度なアライメント方式を提供し、高精度・高速度なパターン転写を可能とする。例文帳に追加

To precisely and speedily transfer a pattern by providing an accurate alignment system suitable to a charged particle beam exposure device of a reflection type. - 特許庁

荷電粒子ビームを偏向させるＤＡＣアンプがより高速化された場合でも、確実にＤＡＣアンプの診断を図る。例文帳に追加

To diagnose a DAC amplifier reliably even when the speed of the DAC amplifier which deflects a charged particle beam is increased. - 特許庁

荷電粒子の衝突による膜質の劣化を防止し、高速且つ高品質に成膜可能な表面処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a surface treating device capable of forming a film high in quality at a high speed by preventing the film quality from being deteriorated due to the collision of charged particles. - 特許庁

描画速度の高速化とメインテナンス性の向上が図られた荷電粒子ビーム描画装置を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam lithography apparatus in which drawing speed is increased and maintainability is enhanced. - 特許庁

目的に応じて高精度描画と高速描画を切り替えて行うことが出来るように成した荷電粒子ビーム描画装置を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam drawing device wherein high- precision drawing and high-speed drawing are switched according to an objective. - 特許庁

高速かつ頻繁なビーム電流測定を提供することが可能である荷電粒子ビーム装置及び方法を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam device and method, capable of providing high-speed and frequent beam current measurement. - 特許庁

収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。例文帳に追加

To provide a focused charged particle beam device equipped with an aberration corrector in which the absolute value of an aberration coefficient can be obtained at high speed, and to provide a high-accuracy adjustment can be carried out at a high speed. - 特許庁

ブランキング電極対の電極間に高電圧を印加することなく、当該電極間に発生する電界の電界強度を大きくし、これによりブランキング動作を高速で行うことのできる荷電粒子ビームのブランキング機構及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a blanking mechanism of charged particle beam which increases field intensity of electric field generated between electrodes without applying a high voltage between the electrodes of a pair of blanking electrodes, and carries out blanking performance at a fast speed, and also to provide a charged particle beam device having it. - 特許庁