「高速荷電粒子」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

荷電粒子システムにおいて異なるビーム電流を有する動作モードを高速に切り替える方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for quickly switching operation modes having respectively different beam currents in a charged particle beam system. - 特許庁

荷電粒子ビーム・システムにおいて大電流モードと小電流モードとを高速に切り替える方法例文帳に追加

METHOD FOR QUICKLY SWITCHING LARGE CURRENT MODE AND SMALL CURRENT MODE IN CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM - 特許庁

反射型の荷電粒子ビーム露光装置に適した高精度なアライメント方式を提供し、高精度・高速度なパターン転写を可能とする。例文帳に追加

To precisely and speedily transfer a pattern by providing an accurate alignment system suitable to a charged particle beam exposure device of a reflection type. - 特許庁

荷電粒子ビームを偏向させるＤＡＣアンプがより高速化された場合でも、確実にＤＡＣアンプの診断を図る。例文帳に追加

To diagnose a DAC amplifier reliably even when the speed of the DAC amplifier which deflects a charged particle beam is increased. - 特許庁

荷電粒子の衝突による膜質の劣化を防止し、高速且つ高品質に成膜可能な表面処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a surface treating device capable of forming a film high in quality at a high speed by preventing the film quality from being deteriorated due to the collision of charged particles. - 特許庁

描画速度の高速化とメインテナンス性の向上が図られた荷電粒子ビーム描画装置を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam lithography apparatus in which drawing speed is increased and maintainability is enhanced. - 特許庁

目的に応じて高精度描画と高速描画を切り替えて行うことが出来るように成した荷電粒子ビーム描画装置を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam drawing device wherein high- precision drawing and high-speed drawing are switched according to an objective. - 特許庁

高速かつ頻繁なビーム電流測定を提供することが可能である荷電粒子ビーム装置及び方法を提供する。例文帳に追加

To provide a charged particle beam device and method, capable of providing high-speed and frequent beam current measurement. - 特許庁

収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。例文帳に追加

To provide a focused charged particle beam device equipped with an aberration corrector in which the absolute value of an aberration coefficient can be obtained at high speed, and to provide a high-accuracy adjustment can be carried out at a high speed. - 特許庁

ブランキング電極対の電極間に高電圧を印加することなく、当該電極間に発生する電界の電界強度を大きくし、これによりブランキング動作を高速で行うことのできる荷電粒子ビームのブランキング機構及びそれを備えた荷電粒子ビーム装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a blanking mechanism of charged particle beam which increases field intensity of electric field generated between electrodes without applying a high voltage between the electrodes of a pair of blanking electrodes, and carries out blanking performance at a fast speed, and also to provide a charged particle beam device having it. - 特許庁

従来のシリコンの水素化物やハロゲン化物を原料ガスとして用いたデポジションに比べ、高速な半導体膜デポジションが可能な荷電粒子ビーム装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a charged particle beam device capable of performing a semiconductor film deposition at a higher speed compared to a conventional deposition using a hydride of silicon or a halide of silicon as material gas. - 特許庁

原子炉内の冷却液流路内の高速度流体流に対し周期的にまたは実質的に連続的に曝される濡れ表面上の荷電微粒子の静電的堆積を減少させる方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for reducing electrostatic deposition of charged particles on wetted surfaces that are exposed periodically or substantially continuously to high velocity fluid flow within a coolant flow path in a nuclear reactor. - 特許庁

高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。例文帳に追加

To provide a stage device capable of achieving high-speed and precise positioning, a charged particle radiation device and reduced projection exposure device using the same, and a stage control method. - 特許庁

荷電粒子線装置で撮像された試料の画像を、受像処理装置に伝送する際の欠落やデータ化けを、高速性を損なわずに検出できる仕組みを提供する。例文帳に追加

To provide a mechanism capable of detecting omission and data transformation without spoiling high speed at the time of transmitting an image of a sample captured with a charged particle beam device to an image-reception treatment device. - 特許庁

高速応答性と高電圧出力特性を両立できる偏向器駆動回路を提供し、これを用いて高精度描画を実現する荷電粒子ビーム描画装置を提供する。例文帳に追加

To provide a deflector drive circuit, allowing high-speed responsivity to be compatible with high-voltage output characteristics, and to provide a charged particle beam lithographic device realizing high-precision lithography through its use. - 特許庁

高濃度で滲みが少ないドットを高速で印字することができ、色材粒子の荷電量を長期間に亘り安定に保持でき、吐出安定性も良好であるインク組成物の製造方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a method for producing an ink composition that can print a dot of high density without blotting at a high speed and can stably hold an amount of charge of a coloring material over a long period of time, and whose discharge stability is excellent. - 特許庁

荷電粒子の供給を受け、次の走査線に走査パルスを印加した時の放電は高速、安定に発生するので、走査パルス幅を短くすることができる。例文帳に追加

The pulse width of the scanning is made shorter since discharging is generated at high speed and is stably generated when the supply of the charged particles is received and a scanning pulse is applied to the next scanning line. - 特許庁

短い作用距離、コンパクトなデザインで、試料の高速かつ高品質な撮像を可能にすると同時に、画像コントラストの増強をもたらす分析システム及び荷電粒子ビーム装置を提供する。例文帳に追加

To provide an analysis system and a charged particle beam device by which a high-speed and high-quality imaging of a test piece can be made with a short acting distance and a compact design, and contrast of the image can be increased. - 特許庁

静電式のインクジェット記録において、低い駆動電圧でも適正にインクを吐出することができ、しかも、高速で連続記録を行う場合でも、荷電粒子の濃縮、および、吐出状態の安定したインクジェット記録装置を提供する。例文帳に追加

To provide an inkjet recording apparatus which can appropriately jet an ink even under a low driving electric voltage in an electrostatic inkjet recording, and in which concentration and jetting condition of charged particles are stabilized even when recording is continuously performed at a high speed. - 特許庁

一次電子線の収差を増やさずに二次信号を効率よく検出することにより高分解能でかつ高コントラストな観察像を取得し、観察像により欠陥を検出することにより検査速度を高速・高感度にする荷電粒子ビーム装置を得る。例文帳に追加

To obtain a charged particle beam device which conducts an inspection at high speed with high sensitivity by acquiring an observation image of high resolution and high contrast through efficiently detecting a secondary signal without increasing aberration of a primary electron beam, and by detecting defects from the observation image. - 特許庁

当該態様によれば、ホトマスクのようなパターン面とは異なる面に大きな帯電が付着する試料であっても、高精度且つ高速に測定、或いは検査を行うことができる荷電粒子線装置を提供することが可能となる。例文帳に追加

According to the embodiment, the charged particle beam device can be provided in which the high precision and high speed measurements, or inspections can be carried out even in the sample deposited with a large static charge on a face different from the pattern face such as the photo-mask. - 特許庁

基板への荷電粒子の衝突を抑えることで、基板表面のダメージおよび温度上昇を抑制するとともに、高速に基板表面に薄膜形成可能なマグネトロンスパッタリング装置およびこれを用いた薄膜形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a magnetron sputtering system capable of reducing the damage and temperature rising on the surface of a substrate, and also depositing a thin film on the surface of the substrate at a high speed by suppressing the collision of charged particles against the substrate, and to provide a thin film deposition method using the magnetron sputtering system. - 特許庁

本発明は、感光性膜を荷電粒子のビームスポットで走査して描画および表示する描画方法、表示方法、および表示・描画方法に関し、感光性膜上の画像を感光させずに表示して各種調整を可能にすると共に、ヒステリシスなどの影響を受けずに所定区画を正確かつ高速に描画可能にすることを目的とする。例文帳に追加

To provide a method wherein various kinds of adjustment is enabled while displaying an image on a photosensitive film without exposing and a prescribed zone can be precisely drawn at high speed without being influenced by hysteresis, regarding a drawing method, a display method and a display/drawing method wherein drawing and display are performed by scanning the photosensitive film with the beam spot of electrically-charged particles. - 特許庁

書き込み期間に、走査電極に走査パルスを印加する直前に、走査電極に正の予備パルスを印加することによって、それまでの書き込み放電の残留荷電粒子を引き寄せ、書き込み放電の初期電子とすることによって書き込み放電を高速でおこすことができる駆動方法を提供することができる。例文帳に追加

In the driving method, positive spare pulses are applied to scanning electrodes right before applying scanning pulses to the scanning electrodes during a writing interval to pull in residual charged particles of previous writing discharges so that they are made into initial electrons of a writing discharge and thus, high speed writing discharge can be realized. - 特許庁

一つの半導体放射線検出器の放射線入射方向側上に熱中性子を核反応より荷電粒子に変換するコンバータ物質及び高速中性子により反跳陽子を発生するラジエータ物質を備えた中性子検出器とすることによって、中性子ポケット線量計として小型化でき、コストダウンできるものである。例文帳に追加

A neutron detector is provided with a converter substance 2 for converting a thermal neutron to a charged particle due to nuclear reaction and a radiator substance 3 for generating a bounding proton due to a high-speed neutron on a side in the radiation incidence direction of one semiconductor radiation detector, thus miniaturizing the detector as a neutron pocket dosimeter and reducing costs. - 特許庁