I‐beamの英語

The method of manufacturing a surface acoustic wave element 22 uses an LT substrate 10 having a reflectance of 10% or less of an i-beam at its mirror surface polishing, resulting in that the most of the i-beam radiated at exposure is absorbed into the substrate 10.例文帳に追加

本発明に係る弾性表面波素子２２の製造方法においては、鏡面研磨時におけるｉ線の反射率が１０％以下であるＬＴ基板１０を用いることで、露光時に照射されるｉ線の大部分が基板１０に吸収される。 - 特許庁

To provide a silane compound containing a quinolone group that can introduce a photodegradable quinolone group having high sensitivity to an i beam onto the surface of a substrate, and a surface modifier containing the silane compound.例文帳に追加

i線に対して高感度である光分解性のキノロン基を、基体表面に導入可能なキノロン基含有シラン化合物、及び該シラン化合物を利用した表面修飾剤を提供すること。 - 特許庁

A first insulating film 2 on a substrate 1 is etched using a multilayer resist including a resist 3 for i-beam, an SOG film 4 and a resist 5 for KrF/ArF.例文帳に追加

基板１上の第１の絶縁膜２を、ｉ線用レジスト３、ＳＯＧ膜４、ＫｒＦ／ＡｒＦ用レジスト５を含む多層レジストを用いてエッチングする。 - 特許庁

To provide the manufacturing method of a semiconductor device having a fine pattern which exceeds the conventional limit of conventional fine work by succeeding previously established i-beam exposure technology as it is and correcting etching technology.例文帳に追加

既に確立されたｉ線露光技術はそのまゝ継承してエッチング技術を小修正することで、従来の微細加工の限界を越える微細パターンを有する半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

The coloring of the positive resist layer is preferably carried out by using a dye solution or a pigment dispersion liquid after making hydrophilic a predetermined position of the positive resist layer by i-beam irradiation.例文帳に追加

前記ポジ型レジスト層の着色は、ｉ線照射により前記ポジ型レジスト層の所定位置を親水化した上で、染料溶液または顔料分散液を用いて行うことが好ましい。 - 特許庁

The connector 28, 28 have the cross section of an I-beam, and have U-shaped end sections engaged with grooves 62, 64 in comparatively board width for mutually holding wall panels surely at that time.例文帳に追加

コネクタ28、28は、Ｉ形ビームの断面を有し、壁パネルを互いに確実に保持するための、比較的幅の広い溝62、64に係合するＵ字型端部を含む。 - 特許庁

The corrosion preventive structure is constituted by providing the outside surfaces of the structures composed of plural I beam materials or similar members or steel pipes with flexible and airtight sheet materials 3 tented to form an airtight structure in the inside.例文帳に追加

複数のＩビ−ム材または類似の部材または鋼管から構成された構造物であって、構造物の外面に可撓性かつ、気密性のシ−ト材３を張って設け、内部を気密構造とした防食構造物。 - 特許庁

The supporting member 11 is formed with an I-beam and the like and respective pairs of left and right wire holders 16, fork engaging parts 17 and hooks 18 are provided on its upper flange 11f.例文帳に追加

支持部材１１はＩ形鋼等で形成され、その上方のフランジ１１ｆに、ワイヤ係止部１６と、フォーク係合部１７と、フック１８と、がそれぞれ左右一対ずつ設けられている。 - 特許庁