MECHANICAL STAGEとは 意味・読み方・使い方

A mechanical reduction gear mechanism formed by a helical gear device is mounted at a high speed stage side, and a mechanical reduction gear mechanism formed by a planatary gear device is mounted at a low speed stage side, inside of the mechanical reduction gear 9.例文帳に追加

歯車減速機９の内部には、高速段側にはすば歯車装置からなる歯車減速機構が、低速段側に遊星歯車装置からなる歯車減速機構がそれぞれ設けられている。 - 特許庁

The mechanical dynamic vibration absorber is structured so that the natural vibration frequency of the mechanical dynamic vibration absorber may coincide with or closely resemble the natural vibration frequency of the stage.例文帳に追加

機械的動吸振器の固有振動周波数がステージの固有振動周波数に一致若しくは近似するように機械的動吸振器を構成する。 - 特許庁

The drive motors supply drive forces directly to the stage without any mechanical contact to the stage.例文帳に追加

駆動モータはステージと何等機械的に接触することなくステージに駆動力を直接供給する。 - 特許庁

To obtain a higher mechanical bandwidth of a fine stage by enhancing the rigid characteristics at a bearing/driving section for supporting the fine stage.例文帳に追加

微動ステージを支持する支承・駆動部の剛特性を向上させることによって、微動ステージのより高い機械的帯域幅を得る。 - 特許庁

To provide a stage apparatus capable of maintaining a fixed relative distance between a coarse motion stage and a fine motion stage while a mechanical accuracy required for the coarse motion stage and the fine motion stage is relaxed without enlarging a stroke range of the fine motion stage.例文帳に追加

微動ステージのストローク範囲を拡大することなく、且つ、粗動ステージと微動ステージに要求される機械的精度を緩和しつつ、粗動ステージと微動ステージとの相対距離を一定に保つことが可能なステージ装置を提供する。 - 特許庁

For this, an X-stage is moved by -X' in X-direction, and a Y-stage is moved by -Y' in Y-direction by mechanical stage rotation.例文帳に追加

このためには、機械的なステージの回転を行った場合、Ｘステージを駆動してけＸ方向に移動させ、Ｙステージを駆動してＹ方向にステージを移動させる。 - 特許庁

The space between a casing 1 filled with high-pressure sealed liquid S and a rotating shaft 3 inserted in the casing is sealed in multi-stage by a ground seal 4 of a first stage and a mechanical seal 5 of a second stage.例文帳に追加

高圧の被密封液体Ｓが入っているケーシング１とこれに挿通された回転軸３との間を第１段のグランドシート４と第２段のメカニカルシール５にて多段シールする。 - 特許庁

To raise an upper limit of a scanning speed, reduce mechanical strokes of a stage, reduce a control band, improve the synchronizing precision of the stage, reduce the settling time of the stage, and enhance throughput without applying high acceleration.例文帳に追加

高い加速度を与えること無く、走査速度の上限を上げ、ステージの機械的ストロークを縮小し、制御帯域を下げ、ステージの同期精度を向上させ、ステージの整定時間を縮小し、スループット向上を図る。 - 特許庁