Process Recipeとは 意味・読み方・使い方

Then, a recipe correction part corrects a recipe to be supplied to the process apparatus based on the correction value output from the correction value calculation part and transmits the corrected recipe to the process apparatus.例文帳に追加

そして、レシピ補正部は補正値演算部が出力する補正値に基づいてプロセス装置に供給するレシピを補正してプロセス装置へ送信する。 - 特許庁

To solve a problem wherein, since a second process recipe is not corrected even when a first recipe is corrected based on a processing result, a target value of a physical amount of a processing object is deviated when processing based on the second process recipe is executed.例文帳に追加

処理結果に基づいて第１のプロセスレシピを修正しても、第２のプロセスレシピの修正が行われないため、第２のプロセスレシピに基づいた処理を行うと、処理対象の物理量が目標値がずれてしまう。 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR CORRECTING AND CHANGING RECIPE OF PROCESS CONTROL SYSTEM DURING RECIPE EXECUTION AND MACHINE ACCESSIBLE MEDIUM例文帳に追加

プロセス制御システムのレシピをレシピ実行中に修正変更する方法、装置、及び機械アクセス可能な媒体 - 特許庁

To provide a substrate processing apparatus capable of inhibiting a process recipe from increasing to a large extent even when the contents of a sub-recipe and a table are changed.例文帳に追加

サブレシピやテーブルの内容を変えた場合にも、プロセスレシピが大幅に増加することを抑制できる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

A recipe adjusting section 875 changes a process to be executed in the same PM 400 by changing recipe.例文帳に追加

レシピ調整部８７５は、レシピを変更することにより同一ＰＭ４００において実行されるプロセスを変更する。 - 特許庁

It is possible to input contents specified in the process recipe from a recipe input 6 including a keyboard or the like by starting a recipe editor program.例文帳に追加

レシピエディタプログラムを起動して、キーボードなどを含むレシピ入力部６からプロセスレシピ内で規定される内容を入力することができる。 - 特許庁

To rapidly respond to a change of a recipe in execution of a batch process in a manufacturing environment according to a product recipe, wherein the product recipe specifies a plurality of actions and a plurality of parameters.例文帳に追加

製造環境において、複数の動作および複数のパラメーターを指定する製品レシピによってバッチ処理を実行する際に、レシピの変更に迅速に対応する。 - 特許庁

To provide a substrate processing device allowing normal completion according to the contents of an alarm recipe regardless of occurrence of an error in execution of a process recipe to execute the alarm recipe.例文帳に追加

プロセスレシピ実行中にエラーが発生してアラームレシピを実行しても、そのアラームレシピの内容により、正常終了とすることが可能な基板処理装置を提供する。 - 特許庁