SIMS analysisとは 意味・読み方・使い方

The wiring conductive material 3 of the wiring-like structure 4 is subjected to SIMS-analysis by a SIMS method, by using the sample 11.例文帳に追加

この試料１１を用いて、ＳＩＭＳ法により配線様構造４の配線導電材料３をＳＩＭＳ分析する。 - 特許庁

Additionally, according to the coordinates data of the particles and the coordinates of the wafer outer periphery that are measured by an analyzer (TOF-SIMS), conversion to coordinates data for analysis is made by the external computer (7 and 8).例文帳に追加

さらに、パーティクルの座標データと分析装置（TOF-SIMS）で計測したウエーハ外周の座標から外部計算機によって分析用座標データに変換する（７，８）。 - 特許庁

To provide an analytical method capable of carrying out precise depth-directional analysis, in distribution analysis of indium or gallium in silicon by a SIMS.例文帳に追加

ＳＩＭＳによるシリコン中のインジウムやガリウムの分布分析において、高精度な深さ方向分析を実現できる方法を提供する。 - 特許庁

The activation rate (a) is defined by 'the concentration of the activated n-type impurities obtained by SR analysis/the concentration of the n-type impurities obtained by SIMS analysis'.例文帳に追加

活性化率ａは（ＳＲ分析にて得られた活性化したｎ型不純物の濃度）／（ＳＩＭＳ分析にて得られたｎ型不純物の濃度）で定義される。 - 特許庁

The method comprises an analysis process by a TOP-SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer).例文帳に追加

ＴＯＦ−ＳＩＭＳ（飛行時間型二次イオン質量分析装置）による分析工程を有するトナーの製造方法。 - 特許庁

To provide a mass spectroscope capable of performing stable SIMS analysis with a spatial resolution of the order of several tens of nanometers.例文帳に追加

数十ｎｍの空間分解能で安定したＳＩＭＳ分析を実施することができる質量分析装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for preparing an analytical sample, capable of efficiently and easily providing an analytical sample for SIMS analysis.例文帳に追加

ＳＩＭＳ分析の分析試料を効率よく且つ容易に得ることができる分析試料の作製方法を提供する。 - 特許庁