Sem Sとは 意味・読み方・使い方

The side surface of the columnar sample S is axisymmetrically excavated and the analysis of a component due to glow discharge emission analysis becomes possible and the side surface of the cleanly formed sample S can be observed by SEM or the like.例文帳に追加

円柱状の試料Ｓの側面が軸対称に掘削され、グロー放電発光分析による成分分析が可能となり、清浄に形成した試料Ｓの側面をＳＥＭ等で観察することも可能となる。 - 特許庁

Focus displacement is calculated from Ia and Is, a sample stage 9 is driven in the Z-axis direction by a Z-axis driving part 13 to adjust the focus and thereafter, an SEM image is taken in.例文帳に追加

Ｉ_a及びＩ_sよりフォーカスずれを算出し、Ｚ軸駆動部１３によって試料ステージ９をＺ軸方向に駆動してフォーカスを合わせたのちＳＥＭ像を取り込む。 - 特許庁

To provide an electron beam device that can prevent damages to the device and can make compatible low aberration, high resolution or high S/N ratio, with easiness of defect classification by obtaining a three-dimensional SEM image.例文帳に追加

デバイス損傷を防止することが可能であり、低収差、高分解能若しくは高Ｓ／Ｎ比と、立体的なＳＥＭ像を得ることによる欠陥分類の容易さと、を両立させる。 - 特許庁

The sample S is almost isotropically excavated by vibration while rotated at random, the analysis of a component in a radial direction due to glow discharge emission analysis become possible and surface of the cleanly formed sample S can be observed by SEM or the like.例文帳に追加

振動によって試料Ｓはランダムに回転しながらほぼ等方的に掘削され、グロー放電発光分析による半径方向の成分分析が可能となり、清浄に形成した試料Ｓの表面をＳＥＭ等で観察することも可能となる。 - 特許庁

This semiconductor device inspection apparatus 1 is equipped with a stage 141 disposed in a vacuum chamber 11 for setting the semiconductor device (sample S), a femto-second laser device 12 for generating a femto-second laser beam FSLB for cutting the semiconductor device, and a scanning electron microscope (SEM 17) for observing the cut face W of the semiconductor device cut by the laser beam.例文帳に追加

半導体デバイス検査装置１は、半導体デバイス（試料Ｓ）をセットする真空チャンバー１１内に配設されたステージ１４１と、半導体デバイスを切削するフェムト秒レーザビームＦＳＬＢを生成するフェムト秒レーザ装置１２と、当該レーザビームにより切削した半導体デバイスの切削面Ｗを観察する電子顕微鏡（ＳＥＭ１７）とを備えている。 - 特許庁