Step-and Scan Projection Alignerとは 意味・読み方・使い方

This step-and-scan type projection aligner is provided with a controller for setting the step drive profile for each step drive, based on scan synchronization errors.例文帳に追加

ステップ駆動プロファイルを、スキャン同期誤差に基づいて、ステップ駆動毎に設定する制御装置を備えるステップ＆スキャン式投影露光装置。 - 特許庁

STEP-AND-SCAN TYPE PROJECTION ALIGNER, MAINTENANCE METHOD THEREFOR, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT USING THE ALIGNER例文帳に追加

ステップ＆スキャン式投影露光装置、その保守方法並びに同装置を用いた半導体デバイス製造方法および半導体製造工場 - 特許庁

To provide a projection aligner, which corrects the irrotational symmetric property of the optical characteristics of a lens that accompanies a thermal change in the lens due to the absorption of exposure light by an aligner using a step-and scan system and can obtain a high-resolution pattern image, and to provide a method of manufacturing a device using the projection aligner.例文帳に追加

ステップアンドスキャン方式を用いた露光装置で露光光吸収によるレンズの熱的変化に伴う光学特性を補正し、高解像度のパターン像が得られる投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。 - 特許庁

To provide a method for scanning exposure by which multiple exposure can be performed even by means of a step-and-scan projection aligner and the coherence factor and exposure of a lighting system can be adjusted at every focal point needed for optimizing the multiple exposure and, in addition, the accuracy of pattern transfer can be improved.例文帳に追加

ステップアンドスキャン方式においても多重露光を行うことができ、且つ多重露光の最適化に必要な焦点位置毎の照明系のコヒーレンシーファクタや露光量の調整を行うことができ、パターン転写精度の向上をはかる。 - 特許庁