step-and-repeat methodとは 意味・読み方・使い方

1. Step and repeat method or step and scan method align and expose equipment for wafer processing using photo-optical or x-ray methods, that falls under any of the following発音を聞く 例文帳に追加

（一）　ウエハーの処理のためのステップアンドリピート方式又はステップアンドスキャン方式の露光装置であって、光学方式のもの又はエックス線を用いたもののうち、次のいずれかに該当するもの - 日本法令外国語訳データベースシステム

When an exposure process is carried out through the step and repeat exposure method, the circuit pattern and the discriminating mark pattern adjacent to it are exposed to light at the same time.例文帳に追加

ステップ・アンド・リピート露光方法により露光を行う際に、１回の露光で回路パターンと、隣接する回路の識別記号パターンと、を同時に露光する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device manufacturing method capable of efficiently forming a plurality of circuits of the same shape and a plurality of discriminating marks for discriminating the circuits of the same shape from each other on a single processing board through a step and repeat exposure method.例文帳に追加

ステップ・アンド・リピート露光方法を用いて、１枚の加工基板上に複数同形の回路と、複数同形の回路を識別するための複数識別記号と、を効率的に形成する製造方法を提供する。 - 特許庁

To solve the problem that if a semiconductor substrate has nonlinear strain, a component thereof can not be corrected through alignment measurement before exposure in a step-and-repeat type alignment method, and misalignment is caused after the exposure.例文帳に追加

ステップアンドリピート方式のアライメント方法においては、半導体基板に非線形な歪みがあると、その成分は、露光前のアライメント計測にて補正する事が出来ず、露光後にアライメントずれとなってしまう。 - 特許庁

This method comprises a step of measuring the value of each traced parameter on the successive time unit basis, and a step of storing the measured values together with the number of successive time units where the values repeat.例文帳に追加

追跡される各パラメータに対し、連続した時間単位基準で該パラメータの値を測定するステップと、前記測定された値を、該値が繰り返す連続した時間単位の数とともに格納するステップとを含むシステム測定パラメータを追跡する方法。 - 特許庁

To provide a semiconductor device defect inspection method and a system thereof which inspects predetermined risky spots using a step-and-repeat type high resolution SEM and estimates a defect occurrence frequency at the risky spots statistically with high reliability.例文帳に追加

ステップ・アンド・リピート式の高解像度ＳＥＭを用いて予め定められた危険点を検査し、危険点での欠陥発生頻度を統計的かつ信頼性を持って推定する半導体デバイスの欠陥検査方法及びそのシステムを提供する。 - 特許庁

This method comprises a step to input and register the inter-product priority information based on the constraint conditions on production of the plurality of types of products and a step to calculate the inter-product priority based on the priority information, and to repeat this procedure to create the production order pattern of each of the plurality of types of products.例文帳に追加

この方法は、複数機種の生産上の制約条件に基づき製品相互の間の優先度合い情報を入力し登録するステップ、この優先度合い情報に基づいて製品相互の優先度を演算し、これを繰返し、複数品種の製品のそれぞれの生産順位パターンを作成するステップを含む。 - 特許庁