WFS2とは 意味・読み方・使い方

An exposure apparatus 100 has a third fine movement stage position measurement system which can measure positional information of the stage WFS2 when the stage WFS2 is carried from the measurement station 300 to the exposure station 200.例文帳に追加

露光装置１００は、ステージＷＦＳ２が計測ステーション３００から露光ステーション２００へ搬送される際、このステージＷＦＳ２の位置情報を計測可能な第３の微動ステージ計測系を有する。 - 特許庁

Further, when an alignment to the wafer W on the fine movement stage WFS2 supported by a coarse movement stage WCS2 is performed at the measurement station 300, the position of the fine movement stage WFS2 within an XY plane is measured with good precision by a measurement system 70B.例文帳に追加

また、計測ステーション３００で、粗動ステージＷＣＳ２に支持された微動ステージＷＦＳ２上のウエハＷに対するアライメントが行われる際に、計測系７０Ｂにより微動ステージＷＦＳ２のＸＹ平面内の位置を精度良く計測する。 - 特許庁

A center table 130 for relaying the fine movement stages WFS1 and WFS2 between the coarse movement stages WCS1 and WCS2 is installed on the intersection of the reference axes LV and LH that come away respectively from the exposure station 200 and the measurement station 300.例文帳に追加

さらに、露光ステーション２００と計測ステーション３００とのそれぞれから離間する基準軸ＬＶ，ＬＨの交点上に、粗動ステージＷＣＳ１，ＷＣＳ２間で微動ステージＷＦＳ１，ＷＦＳ２をリレーするためのセンターテーブル１３０が設置されている。 - 特許庁

When a user B acquires medical-related information of a user A from a terminal of the user B himself by use of identification information, first, an issue request of a TUS is transmitted from a terminal of the user A, and the encrypted TUS for making another person designate the user A is issued by a Web linkage server WFS2.例文帳に追加

ユーザＡの医療関連情報を、ユーザＢが自身の端末からユーザＡの識別情報を用いて取得する際に、先ずユーザＡの端末からＴＵＳの発行要求を送信して、ユーザＡを他者に指定させるための暗号化されたＴＵＳをＷｅｂ連携サーバＷＦＳ２により発行する。 - 特許庁

In an exposure station 200, positional information of a stage WFS1 for holding a wafer is measured by a first fine movement stage position measurement system including a measurement arm 71A, and in a measurement station 300, positional information of a stage WFS2 for holding a wafer is measured by a second fine movement stage position measurement system including a measurement arm 71B.例文帳に追加

露光ステーション２００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ１の位置情報は、計測アーム７１Ａを含む第１の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション３００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ２の位置情報は、計測アーム７１Ｂを含む第２の微動ステージ位置計測系により計測される。 - 特許庁