absorbed electron currentとは 意味・読み方・使い方

ELECTRON BEAM ABSORBED CURRENT ANALYZING METHOD AND ELECTRON BEAM ABSORBED CURRENT ANALYZER例文帳に追加

電子ビーム吸収電流解析方法及び電子ビーム吸収電流解析器 - 特許庁

The invention relates to the apparatus and the method for automatically detecting the failure position on even long wiring line using an image of an absorbed current absorbed by a sample by irradiating the sample with an electron beam in a state wherein a probe is applied to the sample.例文帳に追加

試料にプローブと電子線を当て試料に吸収された吸収電流の像を利用して、長い配線でも不良位置を自動で検出する装置とその方法。 - 特許庁

To improve the efficiency of fault analysis, by acquiring absorbed electron current images when a sample temperature is changed, using an absorbed current detected by using a plurality of probes and identifying a faulty point from the difference of the images.例文帳に追加

本発明の目的は、複数本の探針を用いて検出された吸収電流を使用して、試料温度の変化した場合の吸収電流像を取得し、その画像の差分から不良箇所を同定することにより不良解析の効率を向上させることを目的とする。 - 特許庁

A probe, means for replacing the inside of a sample chamber with prescribed gas and means for turning into images by ion current detection or absorbed current detection are incorporated to realize a safe SEM (scanning electron microscope) whose risk of electrical discharge is low.例文帳に追加

探針と、試料室内を所定のガスで置換する手段と、イオン電流検出や吸収電流検出による画像化手段を備えることにより、放電の危険性の低い安全なＳＥＭを実現する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for inspection, using an electron beam whereby hole-like objects such as CHs formed in the manufacturing process of a semiconductor device at a high accuracy can be inspected, using an absorbed current.例文帳に追加

吸収電流を用い、高い精度で半導体デバイス製造過程で形成されたＣＨなどのホール状の検査を行うことができる電子ビーム検査方法および装置を実現する。 - 特許庁

To provide an EBAC (Electron Beam Absorbed Current) analyzing method which prevents an EBAC reaction from a front-stage net located at the front stage to an analysis subject net with a high analysis hit rate, and to provide an apparatus applicable to the analyzing method.例文帳に追加

解析対象ネットに対して前段に位置する前段ネットからのＥＢＡＣ反応を防止した解析ヒット率の高いＥＢＡＣ解析方法及びそれに好適な装置を提供する - 特許庁

The heat radiators radiate heats to an extent suppressing a flow of the end glass 2 while leaving heat to an extent allowing alkaline metal atoms of the end glass 2 to be moved and absorbed to the surfaces of the lead wires 3a and 3b, when a tube current directly enters into the lead wires 3a and 3b after the electron emission substance is depleted.例文帳に追加

放熱体は、電子放出物質渇枯後に管電流がリード線３ａ，３ｂに直接入射した際、端部ガラス２のアルカリ金属原子がリード線３ａ，３ｂ表面へ移動可能及び吸着可能な程度の熱を残しつつ、かつ、端部ガラス２の流動を抑制する程度に放熱する。 - 特許庁