atomic gasとは 意味・読み方・使い方

For spatially separating gas atoms, atomic gas may be diluted with an inert gas.例文帳に追加

空間的にガス原子を隔てるために、不活性ガスを用いて原子ガスが希釈されてもよい。 - 特許庁

BUFFER GAS MIXING RATIO SETTING METHOD, FREQUENCY ADJUSTING METHOD OF ATOMIC OSCILLATOR, AND ATOMIC OSCILLATOR例文帳に追加

バッファーガス混合比設定方法、原子発振器の周波数調整方法、及び原子発振器 - 特許庁

A second reactant gas, when it is injected into the reaction chamber, flows over the atomic layer of the first reactant gas and forms an atomic layer on the atomic layer of the first reactant gas.例文帳に追加

第２の反応物ガスが、反応チャンバへ注入される際に、第１の反応物ガスの原子層上へ流入し、第１の反応物ガスの原子層上に原子層を形成する。 - 特許庁

The gas having a small atomic number is used.例文帳に追加

小さい原子番号を有する気体を使用することができる。 - 特許庁

To obtain a high quality film body by feeding an atomic gas obtained by a plasma cell to a reaction system in a high density and utilizing the activity of the atomic gas.例文帳に追加

プラズマセルで得た原子状ガスを高密度に反応系に供給し、前記原子状ガスの活性を利用して高品質の膜体を得る。 - 特許庁

The atomic gas source 15 turns molecular nitrogen or oxygen into atomic nitrogen or oxygen with a magnetron head 37 and a microwave applicator 41 acting on a molecular gas source 33.例文帳に追加

原子ガスソース１５は、マクネトロンヘッド３７、マイクロ波アプリケータ４１により分子ガスソース３３に作用して窒素又は酸素を原子化する。 - 特許庁

To provide an improved gas delivery apparatus for atomic layer deposition.例文帳に追加

原子層堆積のための改良されたガス配送装置を提供する。 - 特許庁

To easily measure atomic radical density in plasma with high accuracy and high sensitivity by making gas of specified pressure containing atoms in gas, into plasma in a micro hole of a negative electrode plate to generate atomic beams, and irradiating the atomic beams to raw material gas made into plasma.例文帳に追加

測定される反応性プラズマ中における機能ガス原子ラジカル密度に基づいてプロセス処理を高い再現性で、高精度及びリアルタイムに制御することができる原子状ラジカル測定方法及びその装置の提供。 - 特許庁