diffraction fringeとは 意味・読み方・使い方

This shape evaluation method of the diffraction grating having the phase shift part includes an interference fringe detection process for detecting an interference fringe, corresponding to the irregularities of the diffraction grating, and a shape evaluation process for evaluating the shape of the diffraction grating, based on the interference fringe detected in the interference fringe detection process.例文帳に追加

本発明に係る回折格子の形状評価方法は、位相シフト部を有する回折格子の形状評価方法であって、回折格子の凹凸に対応する干渉縞を検出する干渉縞検出工程と、干渉縞検出工程で検出した干渉縞に基づいて、回折格子の形状評価をおこなう形状評価工程とを含む。 - 特許庁

The stray light interference fringe produced on a light receiving surface of the optical detector 17 by phase modulation operation of the diffraction grating 12 is subdivided by the diffraction operation by the diffraction grating 20.例文帳に追加

回折格子１２の位相変調作用によって光検出器１７の受光面上に生じる迷光干渉縞は、回折素子２０による回折作用によって細分化される。 - 特許庁

A diffraction grating encoder applies a light beam to the unequal-length pitch diffraction grating 123, and detects an interference fringe pattern created by ± primary diffraction light which is generated and the rotating position of the member.例文帳に追加

回折格子エンコーダは、この不等長ピッチ回折格子１２３に光ビームを照射し、そこで発生した±１次回折光から作成される干渉縞パターンを検出して、部材の回転位置を検出する。 - 特許庁

To provide a phase type diffraction element with high quality causing no lattice fringe by irregularity or a disclination line.例文帳に追加

凹凸やディスクリネーションラインによる格子縞のない高品質な位相型回折格子を提供する。 - 特許庁

To provide a semiconductor diffraction grating element and a semiconductor laser capable of achieving a reflection spectrum with a reduced fringe.例文帳に追加

フリンジが低減された反射スペクトルを実現可能な半導体回折格子素子、及び、半導体レーザを提供する。 - 特許庁

To measure the wavefront aberration of an optical system to be examined based on an interference fringe obtained using a diffraction grating.例文帳に追加

回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の波面収差を高精度に計測する。 - 特許庁

The liquid crystal element 104a for P polarized light has a Bragg diffraction fringe to impart the diffraction effect to the incident laser beam (P polarized light) transmitted through the polarization beam splitter 103 and the liquid crystal element 104b for S polarized light has a Bragg diffraction fringe to impart the diffraction effect to the reflected laser beam (S polarized light) rotated in the polarization direction by a λ/4 plate 106.例文帳に追加

Ｐ偏光用液晶素子１０４ａは偏光ビームスプリッタ１０３を透過した入射レーザ光（Ｐ偏光）に対して回折作用を付与するBragg回折縞を有し、Ｓ偏光用液晶素子１０４ｂはλ／４板１０６によって偏光方向が回転された反射レーザ光（Ｓ偏光）に対して回折作用を付与するBragg回折縞を有する。 - 特許庁

Interference fringe patterns 92 are formed by irradiating a wafer with an illumination light through two diffraction gratings and the wafer is exposed with the interference fringe patterns 92.例文帳に追加

照明光を２枚の回折格子を介して照射することによって干渉縞パターン９２を形成し、干渉縞パターン９２でウエハを露光する。 - 特許庁