| 意味 | 例文 |
diffraction fringeの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 38件
Provided that Δθ means the difference (°) of a diffraction angle between the respective interference fringe patterns, and Δη means the difference (%) of diffraction efficiency between the respective interference fringe patterns.例文帳に追加
ただし、Δθ:各干渉縞パターンでの回折角度の差(°)、Δη:各干渉縞パターンでの回折効率の差(%)である。 - 特許庁
The state of the diffraction lattice G is evaluated on the basis of this interference fringe.例文帳に追加
この干渉縞に基づき、回折格子Gの格子の状態が評価される。 - 特許庁
In the shape evaluation method of the diffraction grating, the interference fringe, corresponding to irregularities of the diffraction grating, is detected, and the shape of the diffraction grating is evaluated based on the interference fringe.例文帳に追加
この回折格子の形状評価方法においては、回折格子の凹凸に対応する干渉縞を検出して、その干渉縞に基づいて回折格子の形状評価がおこなわれる。 - 特許庁
The detection unit 10 detects the diffraction fringe 70 generated by the diffracted light.例文帳に追加
検出部10は、回折光によって生成される回折縞70を検出する。 - 特許庁
The surface shape of the substrate of the diffraction lattice G is evaluated on the basis of this interference fringe.例文帳に追加
この干渉縞に基づき、回折格子Gの基板の面形状が評価される。 - 特許庁
Consequently, formation of an interference fringe formed by diffraction light and non-diffraction light of the return light from the non-target layer can be prevented.例文帳に追加
そのため、目的外層からの反射光の回折光と非回折光とで形成する干渉縞の形成を防ぐことができる。 - 特許庁
This shape evaluation method of the diffraction grating having the phase shift part includes an interference fringe detection process for detecting an interference fringe, corresponding to the irregularities of the diffraction grating, and a shape evaluation process for evaluating the shape of the diffraction grating, based on the interference fringe detected in the interference fringe detection process.例文帳に追加
本発明に係る回折格子の形状評価方法は、位相シフト部を有する回折格子の形状評価方法であって、回折格子の凹凸に対応する干渉縞を検出する干渉縞検出工程と、干渉縞検出工程で検出した干渉縞に基づいて、回折格子の形状評価をおこなう形状評価工程とを含む。 - 特許庁
Interference fringe patterns 92 are formed by irradiating a wafer with an illumination light through two diffraction gratings and the wafer is exposed with the interference fringe patterns 92.例文帳に追加
照明光を2枚の回折格子を介して照射することによって干渉縞パターン92を形成し、干渉縞パターン92でウエハを露光する。 - 特許庁
The stray light interference fringe produced on a light receiving surface of the optical detector 17 by phase modulation operation of the diffraction grating 12 is subdivided by the diffraction operation by the diffraction grating 20.例文帳に追加
回折格子12の位相変調作用によって光検出器17の受光面上に生じる迷光干渉縞は、回折素子20による回折作用によって細分化される。 - 特許庁
To provide a phase type diffraction element with high quality causing no lattice fringe by irregularity or a disclination line.例文帳に追加
凹凸やディスクリネーションラインによる格子縞のない高品質な位相型回折格子を提供する。 - 特許庁
The interference fringe pattern is generated by the ± first order diffraction beam of an applied light beam.例文帳に追加
格子123に照射された光ビームの±1次回折光によって干渉縞パターンが作成される。 - 特許庁
To measure the wavefront aberration of an optical system to be examined based on an interference fringe obtained using a diffraction grating.例文帳に追加
回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の波面収差を高精度に計測する。 - 特許庁
To provide a semiconductor diffraction grating element and a semiconductor laser capable of achieving a reflection spectrum with a reduced fringe.例文帳に追加
フリンジが低減された反射スペクトルを実現可能な半導体回折格子素子、及び、半導体レーザを提供する。 - 特許庁
A diffraction grating encoder applies a light beam to the unequal-length pitch diffraction grating 123, and detects an interference fringe pattern created by ± primary diffraction light which is generated and the rotating position of the member.例文帳に追加
回折格子エンコーダは、この不等長ピッチ回折格子123に光ビームを照射し、そこで発生した±1次回折光から作成される干渉縞パターンを検出して、部材の回転位置を検出する。 - 特許庁
The liquid crystal element 104a for P polarized light has a Bragg diffraction fringe to impart the diffraction effect to the incident laser beam (P polarized light) transmitted through the polarization beam splitter 103 and the liquid crystal element 104b for S polarized light has a Bragg diffraction fringe to impart the diffraction effect to the reflected laser beam (S polarized light) rotated in the polarization direction by a λ/4 plate 106.例文帳に追加
P偏光用液晶素子104aは偏光ビームスプリッタ103を透過した入射レーザ光(P偏光)に対して回折作用を付与するBragg回折縞を有し、S偏光用液晶素子104bはλ/4板106によって偏光方向が回転された反射レーザ光(S偏光)に対して回折作用を付与するBragg回折縞を有する。 - 特許庁
To provide an inspection device capable of inspecting surely and quickly a flaw or the like on a diffraction grating on which a hologram image is drawn by using an interference fringe relative to the diffraction grating.例文帳に追加
回折格子に係る干渉縞を用いてホログラム画像が描画されている回折格子に付いている傷等を確実且つ迅速に検査することが可能な検査装置を提供する。 - 特許庁
The interference fringe can be detected even when a pitch p1 of the diffraction grating of the scale 18 or a pitch p2 of the diffraction grating of an optical path changer 40 is less than a wavelength λ of the light source.例文帳に追加
スケール18の回折格子のピッチp1や、光路変更器40の回折格子のピッチp2が、たとえ光源の波長λよりも小さくなった場合でも、干渉縞を検出できる。 - 特許庁
Since the interference fringe changes on the phase shift part, in the shape evaluation method of the diffraction grating, the shape of the diffraction grating having the phase shift part can be evaluated with high accuracy.例文帳に追加
この干渉縞は、位相シフト部において変化するため、この回折格子の形状評価方法においては、位相シフト部を有する回折格子の形状評価を高い精度でおこなうことができる。 - 特許庁
The interference fringe and the diffraction grating pattern are plotted by an electron beam lithographing device based on an image data generated by calculation by a computer.例文帳に追加
干渉縞や回折格子パターンは、コンピュータによる演算に基いて生成された画像データに基き、電子線描画装置によって描画される。 - 特許庁
Distribution of wave front variation caused by the 0-order diffraction light reflected from the diffraction pattern face is measured based on the interference fringe between the reference light comprising the light reflected from a reference plane 5a and a measuring light comprising the 0-order diffraction light reflected from the diffraction pattern face and then the measurements of plane shape are corrected based on the measured distribution of wave front variation.例文帳に追加
参照面(5a)での反射光からなる参照光と回折パターン面での反射0次回折光からなる測定光との干渉縞に基づいて、回折パターン面での反射0次回折で生じる波面変化の分布を測定し、測定した波面変化の分布に基づいて被検面の面形状の測定結果を補正する。 - 特許庁
The matter light Lg subjected to Littrow diffraction by a diffraction lattice G and the reference light formed by a reference light forming system 3 for evaluating the minute cycle structure are synthesized by a polarizing beam splitter 7 to form an interference fringe on a screen 6a.例文帳に追加
回折格子Gでリトロー回折した物体光Lgと、微小周期構造評価用参照光生成系3で生成された参照光とが偏光ビームスプリッタ27で合成され、スクリーン6a上に干渉縞を形成する。 - 特許庁
To highly accurately measure the wavefront information of an optical system to be expected by suppressing an influence of unwanted diffracted light based on an interference fringe obtained using a two-dimensional diffraction grating.例文帳に追加
2次元の回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、不要な回折光の影響を抑制して、被検光学系の波面情報を高精度に計測する。 - 特許庁
The reflected light Lo of the diffraction lattice G of measuring light is allowed to interfere with the reference light branched by a half mirror 26, and an interference fringe is formed on a screen 7a.例文帳に追加
測定光の回折格子Gでの反射光Loは、ハーフミラー26で分岐された参照光と干渉させられ、干渉縞がスクリーン7a上に形成される。 - 特許庁
Because of this, the diffraction beams 9a and 9b outgoing from the grating 6 form an interference fringe pattern 10 comprising light-and-dark patterns arranged in the y-direction on a detection part 7.例文帳に追加
そのため、格子6を出射した回折光9a,9bは、y方向に明暗パターンが並んだ干渉縞パターン10を検出部7上に形成する。 - 特許庁
A direction where the interference fringe pattern appears (the grating alignment direction of the diffraction grating) nearly coincides with the linear alignment direction of a photodetector means 61.例文帳に追加
この干渉縞パターンの現れる方向(回折格子の格子配列方向)と受光素子手段61の直線状の配列方向とがほぼ一致するようになっている。 - 特許庁
To provide an apparatus for measuring moire fringe, which can remove the noise due to reflected diffraction light from a reference grating, without necessitating extra constitution.例文帳に追加
余分な構成を必要とせずに、基準格子からの反射回折光によるノイズを除去することができるモアレ縞測定装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
An interference fringe is detected by mutually crossing zero dimensional light that incident light is reflected by the scale 18 and diffraction light obtained by diffracting the incident light by the scale 18.例文帳に追加
入射光がスケール18を反射して得られる0次光と、入射光がスケール18により回折して得られる回折光とを、互いに交差させ、干渉縞を検出する。 - 特許庁
In the spectroscopic module, a collar part 7 is formed in a body along the fringe 6a of a diffraction layer 6 so as to be thicker than the diffraction layer 6, and a portion in contact with the collar part 7 of a curved surface 3a of a lens part 3 is a rough surface.例文帳に追加
この分光モジュールでは、回折層6よりも厚くなるように回折層6の周縁6aに沿って鍔部7が一体的に形成されており、しかも、レンズ部3の曲面3aにおいて鍔部7と接触する部分が粗面となっている。 - 特許庁
In a particle diameter measuring device using a laser diffraction method, spatial resolution of interference fringe measurement is enhanced by using a CCD element 6a as a detector for acquiring an interference fringe, and an interference fringe in a dynamic range of the CCD element 6a can be measured by providing a 0-order diffracted light shielding plate 5 between a Fourier transform lens 3 and the CCD element 6a.例文帳に追加
レーザ回折法を用いた粒子径測定装置において、干渉縞を得るためのディテクタとしてCCD素子6aを使用することにより、干渉縞計測の空間分解能を高め、かつ、フーリエ変換レンズ3と、CCD素子6aとの間に0次回折光遮蔽板5を設けることにより、CCD素子6aのダイナミックレンジ内での干渉縞の計測を可能とする。 - 特許庁
Through diffraction by the phase grating mask 200, +1st-order diffracted light and -1st-order diffracted light are generated and interfere with each other to form interference fringes having fringe intervals Λ.例文帳に追加
位相格子マスク200の回折作用により+1次回折光と−1次回折光とが発生し、これら2つの回折光が干渉することにより縞間隔Λの干渉縞が生じる。 - 特許庁
Through the diffraction of the phase grating mask 200, +1st-order diffracted light and -1st-order diffracted light are generated and interfere with each other to form interference fringes having a fringe interval A.例文帳に追加
位相格子マスク200の回折作用により+1次回折光と−1次回折光とが発生し、これら2つの回折光が干渉することにより縞間隔Λの干渉縞が生じる。 - 特許庁
An interference fringe having a function to reproduce a hologram stereoscopic image is recorded at the center part of a medium, and a diffraction grating pattern having the function to reproduce a two-dimensional image I2 is recorded at peripheral part thereof.例文帳に追加
媒体の中央部分には、ホログラム立体像I1を再生する機能を有する干渉縞を記録し、その周囲部分には、二次元画像I2を再生する機能を有する回折格子パターンを記録する。 - 特許庁
Then a specified region of the optical fiber is irradiated with fringe beams to manufacture a long period fiber grating (refractive index diffraction grating) which can maintain the effect to enhance the changes in the refractive index for a long time and which has stable spectral characteristics.例文帳に追加
次に、光ファイバの所定の領域に縞状ビームが照射され、屈折率変化量の増大効果を長期にわたって維持することができ、かつ安定したスペクトル特性を有する長周期ファイバグレーティング(屈折率回折格子)が作製される。 - 特許庁
Next, the transmissive diffraction element 105 is moved outside the light path, and measuring the interference fringe is repeated by varying the distance between a pin hole PH and the tested surface 108a to obtain the orbicular data (partial profile) for all surface of the tested surface 108a.例文帳に追加
次に、透過型回折素子105を光路外に移動させて、ピンホールPHと被検面108aとの距離を変化させて干渉縞を計測することを繰り返し、被検面108a全面について輪帯データ(部分プロフィル)を取得する。 - 特許庁
Only when an inclination angle of a diffraction grating plate and a wavelength of the interference light satisfy a prescribed relationship, the interference light between the target light and the reference light is incident into an imaging camera 28 to form an interference fringe image on an imaging device 29.例文帳に追加
被検光と参照光との干渉光は、回折格子板の傾斜角度と干渉光の波長とが所定の関係を満たす場合のみ撮像カメラ28内に入射し、撮像素子29上に干渉縞画像が形成される。 - 特許庁
By using two electron beam biprisms in two stages in the optical axis direction, not only the Fresnel diffraction can be avoided, but also the interference fringe spacing s and the interference region width W are independently controlled by controlling the respective electrode voltage of the electron beam biprism.例文帳に追加
2つの電子線バイプリズムを光軸方向に2段に用いることにより、フレネル回折を回避できるだけでなく、干渉縞間隔sと干渉領域幅Wを、それぞれの電子線バイプリズム電極電圧を制御して、独立にコントロールする。 - 特許庁
A method for analysis includes: a step of directing a converging beam 30 of X-rays 26 toward a surface of a sample 22 having an epitaxial layer formed thereon; and a step of sensing the X-rays that are diffracted from the sample while resolving the sensed X-rays as a function of angle so as to generate a diffraction spectrum including a diffraction peak and fringe spectrum due to the epitaxial layer.例文帳に追加
X線26の集束するビーム30を、エピタキシャル層がその上に形成されたサンプル22の表面に配向するステップと、1つの回折ピークとエピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有する回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、からなる分析方法。 - 特許庁
A measurement method for measuring the position of the aperture stop in the optical system includes the steps of measuring a light intensity distribution of light that passes the aperture stop, at a position that is optically conjugate with a pupil position in the optical system, and determining a position of the aperture stop in the optical system based on a diffraction fringe of the light intensity distribution measured by the measuring step.例文帳に追加
光学系の開口絞りの位置を計測する計測方法であって、前記光学系の瞳位置と光学的に共役な位置において、前記開口絞りを通過した光の光強度分布を測定するステップと、前記測定ステップで測定された前記光強度分布の回折縞に基づいて、前記光学系の開口絞りの位置を決定するステップとを有することを特徴とする計測方法を提供する。 - 特許庁
| 意味 | 例文 |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|