diffraction modelとは 意味・読み方・使い方

The approximate diffraction signal by simulation is formed based on the approximate diffraction model of the structure.例文帳に追加

シミュレーションによる近似回折信号が、構造の近似回折モデルに基づいて生成される。 - 特許庁

DECISION OF PROFILE PARAMETER CONCERNING STRUCTURE USING APPROXIMATE FINENESS DIFFRACTION MODEL IN OPTICAL DIFFRACTION例文帳に追加

光回折における近似精緻回折モデルを用いた構造に係るプロファイルパラメータの決定 - 特許庁

One or more profile parameters decision method concerning the structure is provided using the optical measurement model consisting of a profile model, an approximate diffraction model and a fineness diffraction model.例文帳に追加

プロファイルモデル、近似回折モデル、及び精緻回折モデルを有する光計測モデルを用いて構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータを決定する方法が供される。 - 特許庁

The converted diffraction signal is compared to the first simulated diffraction signal or a second simulated diffraction signal generated using the same profile model as the first simulated diffraction signal.例文帳に追加

この変換回折信号は、第１シミュレーション回折信号、又は第１シミュレーション回折信号と同一のプロファイルモデルを用いて生成した第２シミュレーション回折信号と比較する。 - 特許庁

The first measured diffraction signal is compared to a first simulated diffraction signal generated using a profile model of the first structure.例文帳に追加

第１測定回折信号は、第１構造のプロファイルモデルを用いて生成した第１シミュレーション回折信号と比較する。 - 特許庁

Optimization parameters for the profile model are selected using one or more input diffraction signals and one or more selection references.例文帳に追加

1つ以上の入力回折信号と1つ以上の選択基準を用いてプロファイル・モデルのための最適化パラメータを選択する。 - 特許庁

A diffraction signal generated by simulation is created using the optical measurement model, a value of at least one process parameter, and a value of the dispersion.例文帳に追加

シミュレーションによる回折信号は、光学測定モデル、少なくとも1つのプロセスパラメータの値、及び分散の値を用いて生成される。 - 特許庁