dry-point etchingとは 意味・読み方・使い方

To detect the end point of dry etching accurately.例文帳に追加

ドライエッチングにおいて、エッチングの終点を的確に検出する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING END POINT OF ETCHING AND DRY ETCHING SYSTEM PROVIDED WITH THE SAME APPARATUS例文帳に追加

エッチング終点検出方法及び装置並びに同装置を備えたドライエッチング装置 - 特許庁

To provide a detection method of an etching end point in the dry semiconductor etching step, while can easily and accurately detect the etching end point.例文帳に追加

エッチング終了点を正確で容易に検出できる半導体乾式エッチング工程でエッチング終了点の検出方法を提供する。 - 特許庁

The wet etching or dry etching of the resultant structure makes the surface of the low-melting-point glass 13 porous.例文帳に追加

ウェットエッチング処理又はドライエッチング処理により低融点ガラス１３の表面をポーラス状にする。 - 特許庁

To provide a method and apparatus for detecting the end point of etching by which the end point of etching can be detected with high precision and to provide a dry etching system provided with the same apparatus.例文帳に追加

エッチング終点を精度よく検出できるエッチング終点検出方法及び装置並びに同装置を備えたドライエッチング装置を提供する。 - 特許庁

To obtain a method of detecting the end point of etching which can detect the end point of etching with good accuracy and a device for the same and a dry etching system having this device.例文帳に追加

エッチング終点を精度よく検出することができるエッチング終点検出方法及びその装置、並びに同装置を有するドライエッチング装置を得ること。 - 特許庁

An end point detector 9 which becomes an etching stopper for the dry etching in pattern-forming the core 3 is formed.例文帳に追加

更に、コア３をパターン形成する際のドライエッチングのエッチングストッパーとなるエンド・ポイント・ディテクター９が形成されている。 - 特許庁

To obtain a pattern of a high melting point metal film having rectangular or trapezoidal cross-section by dry etching a high melting point metal film.例文帳に追加

高融点金属膜をドライエッチングして断面が矩形状或いは台形状の高融点金属膜のパターンを得る。 - 特許庁