edge beamsとは 意味・読み方・使い方

In such a focused state, the object to be measured is scanned with light beams, so that an edge detection unit 160 detects an edge of the object to be measured.例文帳に追加

このような合焦状態において、被測定物を光ビームでスキャンすることで、エッジ検出部１６０は、被測定物のエッジを検出する。 - 特許庁

To suppress imbalance of image misalignment between a plurality of beams in the direction perpendicular to a deflecting and scanning direction, occurring between the beams at the scanning-start-side edge of the target surface and those at the scanning-end-side edge, and to suppress the degradation to the formed image caused by the imbalance of image misalignment.例文帳に追加

走査開始側と走査終了側で生じる偏向走査方向に対して垂直方向の複数ビーム間の像面ずれのアンバランスとそれに起因する形成画像の劣化を抑制する。 - 特許庁

To prevent difference in chromaticity due to variation in characteristics of laser beams when leading edge timing is regulated by changing the writing start position of the laser beams.例文帳に追加

先端タイミングの調整をレーザビームの書き出し位置を変更して行う際に、レーザビーム毎の特性が異なるために、色味の違いが発生することを防ぐことを目的とする。 - 特許庁

Then, a sample portion 41 projected from an edge portion 42 of a shielding material 40 is etched by ion beams.例文帳に追加

そして、遮蔽材４０のエッジ部４２から突出した試料部分４１がイオンビームによってエッチングされる。 - 特許庁

In this way, ion beams are radiated according to the dose distribution 35 and the sharp edge is obtained to a deposition film 32.例文帳に追加

これにより、ドーズ分布３５のようにイオンビームが照射され、デポジション膜３２に対し急峻なエッジが得られる。 - 特許庁

To provide a positive resist composition excellent in sensitivity, resolution, and moreover, a pattern profile and line edge roughness relating to pattern formation by irradiation of X-rays, electron beams or ion beams.例文帳に追加

Ｘ線、電子線又はイオンビームの照射によるパターン形成に関して、感度、解像力に優れ、更にはパターン形状、ラインエッジラフネスにも優れたポジ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

Light sources 11-17 emit beams of light to the front glass 30 and the light beams enter the front glass 30 from the edge face 31 to advance through the front glass 30 and which are emitted from the edge face 32 of the front glass 30 to arrive at light detection elements 21-29.例文帳に追加

光源１１乃至１７は前面ガラス３０に対して光を発し、光は前面ガラス３０の端面３１から入射して内部を進行し、前面ガラス３０の端面３２から出射して受光素子２１乃至２９に到達する。 - 特許庁

An optical switch module 11 has two optical ports, eliminates beams of light A, B from edge faces of optical fibers 15c, 15d, and converges to enter a VIPA 1 by a semi-cylindrical lens 12c after collimating the beams of light A, B to parallel light beams by collimate lenses 12a, 12b.例文帳に追加

光スイッチモジュール１１は、２個の光ポートを有し、光ファイバ１５ｃ，１５ｄの端面から光Ａ，Ｂを出射し、コリメートレンズ１２ａ，１２ｂで平行光とした後、セミシリンドリカルレンズ１２ｃによりＶＩＰＡ１に収束して入射される。 - 特許庁