electron beam testとは 意味・読み方・使い方

ELECTRON BEAM TYPE PATTERN INSPECTION DEVICE, AND METHOD FOR SETTING INSPECTION CONDITION OF TEST PIECE例文帳に追加

電子線式パターン検査装置、及び、試料の検査条件の設定方法 - 特許庁

Therefore, the electron beam microscope comprises an interruption means for interrupting the electron beam irradiated to the test piece and an electron beam detector set on the interruption means.例文帳に追加

そのための構成として、本発明の電子顕微鏡は、試料への電子線を遮断する電子線遮断手段と、電子線遮断手段に設けられた電子線検出器を有する。 - 特許庁

To provide a compact electron beam test system capable of saving a clean room space, and positioning a flat panel display surely under an electron beam test device.例文帳に追加

クリーンルームの空間を節約することができ、フラットパネルディスプレイを電子ビームテスト装置の下方に確実に位置させることができるコンパクトな電子ビームテストシステムを提供する。 - 特許庁

The test piece can be observed without changing the electron beam irradiation condition to the test piece even when the acceleration voltage of a transmission electron beam microscope is changed.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡の加速電圧を変化させた場合の、試料面上への電子線照射条件を変化させずに試料を観察することが可能となる。 - 特許庁

The electron beam plotting method plots a desired pattern on a test piece with an electron beam, wherein the plotting is performed by moving the test piece so as to plot the desired pattern relative to the electron beam.例文帳に追加

電子ビームによって試料に所望のパターンを描画する電子ビーム描画方法であって、前記試料を前記電子ビームに対して前記所望のパターンを描くように動かすことにより、前記描画を行なうことを特徴とする。 - 特許庁

When alignment is performed using an electron beam in the test, the acceleration voltage of the electron beam in the electron beam alignment and the acceleration voltage in the pattern test can be set at different voltages.例文帳に追加

また、この検査において、電子線を用いたアライメントを行う際には、電子線アライメントにおける電子線の加速電圧と、パターン検査における電子線の加速電圧とを、異なる電圧に設定することができるようにする。 - 特許庁

Moreover, when the test piece is inclined, it has become clear that the combination of the test piece voltage value, at which an electron beam will not curve and the acceleration voltage values of the electron gun existed.例文帳に追加

また、試料を傾斜したときに、電子ビームが曲がらない試料電圧値と電子銃の加速電圧値の組合せが存在することが判明した。 - 特許庁

A type of irradiated substance is discriminated by measuring an X-ray stimulated from the test piece for receiving electron beam irradiation during lithographing by the electron beam lithography apparatus.例文帳に追加

電子線描画装置の描画中に、電子線照射を受けた試料が放出するＸ線を測定して、照射物質の種類を判別する。 - 特許庁